Optimisation et intégration de couches minces de SnO2 (Pd) sensibles au CO obtenues par dépôt chimique en phase vapeur à partir d'un aérosol PDF Download
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Author: Danick Briand
Publisher: National Library of Canada = Bibliothèque nationale du Canada
ISBN: 9780612331174
Category :
Languages : fr
Pages : 138
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Book Description
Author: Danick Briand
Publisher: National Library of Canada = Bibliothèque nationale du Canada
ISBN: 9780612331174
Category :
Languages : fr
Pages : 138
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Book Description
Author: Andrey Ryzhikov
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 178
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Book Description
Cette étude est consacrée à la modification de surface des éléments sensibles de capteurs de gaz de type résistif à base de SnO2 par l'utilisation de couches minces de membranes filtrantes, de même qu'à la modification de surface des couches minces d'oxydes par des oligonucléotides pour la détection de l'ADN. Les couches minces d'oxyde d'étain pur et dopé par le palladium pour les capteurs de gaz et les couches de SnO2, SnO2(F), TiO2, Al2O3 destinées aux biopuces ont été élaborées par pyrolyse d'aérosol et par pulvérisation magnétron. Une caractérisation détaillée de la microstructure et de la composition des couches d'oxydes a été entreprise par plusieurs techniques. La surface des couches de SnOl a été modifiée par le dépôt de couches minces poreuses de platine et de AI2O3 pur et dopé par des métaux nobles (Pd, Pt, Rh, Ru). Ces couches minces jouent le rôle de membranes filtrantes. Le dépôt superficiel de platine sur SnO2 a permis d'optimiser la sensibilité et la sélectivité de la détection de l'hydrogène en présence de CO. Un prototype de capteur intégré a été réalisé à base de couches de SnO2(Pt). Les membranes filtrantes à base d'alumine pure et dopée ont permis d'améliorer la sélectivité de la détection de gaz réducteurs (H2, CO, CH4, C3H8). La détection sélective de H2 en présence de CO et des hydrocarbures en présence de CO et H2 par les structures AI2O/SnO2(Pd) et Al2O3(M)/SnO2(Pd) est rendu possible. Les couches minces poreuses de Al2O3 pur et dopé ont été utilisées dans les structures MIS Pt/Al2O3/p-Si et Pt/AI2O3(M)/p-Si. Ces structures possèdent une sensibilité importante aux gaz réducteurs. La surface des couches de SnO2, SnO2(F), TiO2, AI2O3 a été successivement modifiée par le greffage d'oligonucléotides. L'utilisation de ces surfaces pour la détection optique de l'ADN par fluorescence a ainsi été validée. L'influence de la nature du matériau et de l'épaisseur des couches sur l'intensité de fluorescence a été étudiée.
Author: MARINA.. ROUMIANTSEVA BABAKINA
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 86
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DES COUCHES MINCES DE DIOXYDE D'ETAIN (SNO#2) PURES ET DOPEES (CU, NI) ONT ETE ELABOREES PAR LE PROCEDE PYROSOL SUR DES SUBSTRATS DE SILICIUM OXYDE EN UTILISANT LA PYROLYSE D'UN AEROSOL GENERE PAR ULTRASONS. UNE ETUDE SYSTEMATIQUE A PERMIS DE DETERMINER L'INFLUENCE DES CONDITIONS D'ELABORATION SUR LA COMPOSITION ET LA MICROSTRUCTURE DES COUCHES. L'INFLUENCE DU CU ET DU NI SUR LES PROPRIETES ELECTRIQUES DE SNO#2 A ETE ETUDIEE DANS LA GAMME DE TEMPERATURE 77-773 K. UNE CONCENTRATION DE CU DE 1.2-1.5 AT% ET UNE CONCENTRATION DE NI DE 0.4-0.6 AT% CONDUISENT A UNE AUGMENTATION DE LA RESISTANCE DE H#2S D'UN FACTEUR 10#3. LES PROPRIETES ELECTRIQUES DES COUCHES OBTENUES ONT ETE ETUDIEES EN REGIME STATIONNAIRE ET EN REGIME DYNAMIQUE EN FONCTION DE LA CONCENTRATION DES DOPANTS ET DE LA TEMPERATURE EN PRESENCE DES MELANGES GAZEUX: 100-1200 PPM DE H#2S DANS L'AZOTE, 300 PPM DE CO DANS L'AIR ET 80 PPM DE C#2H#5OH DANS L'AIR. LE DOPAGE PAR LE CU ET PAR LE NI AUGMENTE LA SENSIBILITE DE SNO#2 A H#2S D'UN FACTEUR 10#-#2-10#-#3. CONTRAIREMENT AU CAS DU CUIVRE, LE NICKEL AUGMENTE LA SENSIBILITE DE SNO#2 EN PRESENCE DE CO ET DE C#2H#5OH. UN MODELE D'INTERACTION DES COUCHES SNO#2(CU) ET SNO#2(NI) AVEC H#2S ET L'OXYGENE DE L'ATMOSPHERE EST PROPOSE. CE MODELE EST BASE SUR LES REACTIONS CHIMIQUES QUI MODIFIENT L'ETAT DES DOPANTS DANS SNO#2 EN FONCTION DE LA COMPOSITION DE LA PHASE GAZEUSE
Author: Laurent Brissonneau
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 197
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DES COUCHES MINCES DE NICKEL ONT ETE ELABOREES PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, A PARTIR DE DEUX PRECURSEURS METAL-ORGANIQUES. IL N'A PAS ETE CHERCHE A OPTIMISER LES CONDITIONS D'ELABORATION MAIS A COMPRENDRE L'INFLUENCE DES PARAMETRES SUR LES PROPRIETES DES DEPOTS. LE NICKELOCENE, NI(C#5H#5)#2, PRECURSEUR DE NICKEL CLASSIQUE, A SERVI DE SYSTEME MODELE. LES ETUDES CORRELEES DU MATERIAU ET DE LA PHASE GAZEUSE ONT PERMIS DE PROPOSER DES MECANISMES POUR LE DEPOT. ILS ONT EGALEMENT ETE APPUYES PAR DES CALCULS THERMODYNAMIQUES D'EQUILIBRE PARTIELS. LA VITESSE DE DEPOT EST OPTIMALE ET CONSTANTE POUR DES TEMPERATURES ASSEZ BASSES, ENTRE 150-200C. A DES TEMPERATURES SUPERIEURES, LA DESORPTION EST TROP RAPIDE POUR QUE LE DEPOT AIT LIEU. LA VITESSE DE DEPOT DEPEND DE LA DIFFUSION DU PRECURSEUR DANS LA COUCHE LIMITE ET DE LA CONCENTRATION D'HYDROGENE EN SURFACE. POUR DE FORTES CONCENTRATIONS DE PRECURSEURS EN SURFACE, L'HYDROGENE NE PEUT PLUS S'ADSORBER ET LA VITESSE DE LA REACTION DIMINUE (CINETIQUE DE LANGMUIR-INSHELWOOD). DE PLUS, DES REACTIONS ENTRE MOLECULES DE PRECURSEURS SONT FAVORISEES. ELLES PROVOQUENT L'INCORPORATION DU CARBONE DANS LES DEPOTS DE NICKEL, QUI EST UN DES PROBLEMES MAJEURS LIES A L'UTILISATION DE CE PRECURSEUR. LE SECOND PRECURSEUR, NI(DMEN)#2(CF#3COO)#2, A ETE SYNTHETISE AU LABORATOIRE. LES DEPOTS SE FONT ENTRE 275 ET 350C. LA VITESSE DE DEPOT EST LENTE, CONTROLEE PAR L'APPORT EN PRECURSEUR DE LA PHASE GAZEUSE (LIE A LA FAIBLE VOLATILITE DU PRECURSEUR) ET PAR LA REACTION DE SURFACE. ELLE EST DONC FAVORISEE PAR L'AUGMENTATION DE LA TEMPERATURE OU L'AUGMENTATION DE LA CONCENTRATION DE H#2 DANS LA PHASE GAZEUSE. LA TENEUR EN CARBONE DES COUCHES EST IMPORTANTE. ELLE AUGMENTE POUR LES FORTES TEMPERATURES OU LES FAIBLES CONCENTRATIONS EN HYDROGENE DANS LA PHASE GAZEUSE. LA PHASE CARBURE DE NICKEL PEUT SE FORMER, SEULE OU AVEC DU NICKEL. LES AUTRES HETEROELEMENTS SONT PRESENTS EN TRES FAIBLES QUANTITES. DES PISTES SONT DONNEES POUR L'AMELIORATION DES CONDITIONS DE MANIPULATION ET POUR LA MODIFICATION CHIMIQUE DU PRECURSEUR.
Author: Roland Morancho
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 322
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Author: ALEXANDER.. PISCH
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 201
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L'ETUDE DES COMPOSES SUPRACONDUCTEURS A HAUTE TEMPERATURE CRITIQUE ET DE YBA#2CU#3O#6#+#X EN PARTICULIER PRESENTE UN TRES GRAND INTERET DE PART SES APPLICATIONS POTENTIELLES DANS LES DOMAINES DE L'ELECTRONIQUE ET DE L'ELECTROTECHNIQUE. L'ANALYSE THERMODYNAMIQUE DU SYSTEME QUATERNAIRE Y-BA-CU-O EST UN OUTIL INDISPENSABLE POUR POUVOIR COMPRENDRE ET DEFINIR LES CHEMINS REACTIONNELS QUI PERMETTENT LA SYNTHESE D'UN COMPOSE DE PROPRIETES SUPRACONDUCTRICES OPTIMALES. DANS LE PREMIER CHAPITRE DE CE MEMOIRE, APRES UN BREF RAPPEL SUR LES CARACTERISTIQUES DU COMPOSE YBA#2CU#3O#6#+#X, LES DIFFERENTES METHODES D'ELABORATION ONT ETE DECRITES. PARMI CES METHODES, LES PRINCIPES DU DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD) A PARTIR DES PRECURSEURS ORGANOMETALLIQUES, METHODE RETENUE DANS CE TRAVAIL, SONT DECRITS PLUS EN DETAILS. LE SECOND CHAPITRE EST ENTIEREMENT CONSACRE A L'ANALYSE THERMODYNAMIQUE DU SYSTEME QUATERNAIRE Y-BA-CU-O. CETTE ETUDE EXPLORE TOUS LES SOUS-SYSTEMES (BINAIRES, TERNAIRES) POUR DONNER UN ENSEMBLE SELF-CONSISTANT DE DONNEES THERMODYNAMIQUES. DANS LE DIAGRAMME QUATERNAIRE, LA NON-STCHIOMETRIE DE LA PHASE SUPRACONDUCTRICE A ETE MODELISEE. A PARTIR DES DONNEES RELATIVES AU SYSTEME Y-BA-CU-O-C-H-N-AR, UNE SIMULATION DE DEUX TECHNIQUES DE CVD DIFFERENTES (CVD CLASSIQUE ET CVD ASSISTE PAR AEROSOL) EST PRESENTEE DANS LE CHAPITRE TROIS. CETTE SIMULATION A PERMIS D'ETABLIR LES DIAGRAMMES DE DEPOT, DIRECTEMENT UTILISABLES PAR L'EXPERIMENTATEUR, CAR ILS INDIQUENT LA NATURE DU DEPOT EN FONCTION DES CONDITIONS OPERATOIRES. LE DERNIER CHAPITRE EST CONSACRE A L'ELABORATION DE COUCHES MINCES PAR DEPOT CVD ASSISTE PAR AEROSOL. LA COMPARAISON ENTRE PREVISIONS DE CALCUL ET RESULTATS EXPERIMENTAUX ILLUSTRE, EN QUELQUES EXEMPLES TYPES, L'APPORT DES SIMULATIONS THERMODYNAMIQUES POUR L'OPTIMISATION DES DEPOTS
Author: Pierre Marage
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 177
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LE PROCEDE AEROSOL-GEL EST UNE NOUVELLE TECHNIQUE DE DEPOT SOL-GEL. SON PRINCIPE REPOSE SUR LA PULVERISATION D'UN SOL PAR VOIE ULTRASONORE. L'AEROSOL AINSI GENERE EST TRANSPORTE PAR UN GAZ VECTEUR VERS LE SUBSTRAT ET FORME, EN SE DEPOSANT, UN FILM LIQUIDE. CE FILM CONDUIT APRES EVAPORATION DU SOLVANT ET POLYMERISATION DU DEPOT, A LA FORMATION D'UNE COUCHE MINCE XEROGEL HOMOGENE ET TRANSPARENTE. DES FILMS SIO#2 ONT PU ETRE OBTENUS A PARTIR D'UN SYSTEME CHIMIQUE DE TYPE TETRAETHOXYSILANE/EAU/ACIDE CHLORHYDRIQUE/ALCOOL. APRES RECUIT A 500 C, CES FILMS SONT PURS ET PRESENTENT UNE DENSITE PROCHE DE CELLE DE LA SILICE MASSIVE. DES FILMS PARFAITEMENT DENSES ONT ETE OBTENUS PAR RECUIT DIRECT A 800 C, EN PLACANT L'ECHANTILLON DANS UN FOUR PRECHAUFFE. DES FILMS TIO#2 ONT ETE ELABORES A PARTIR D'UN SYSTEME CHIMIQUE DE TYPE TETRABUTOXYDE DE TITANE/DIETHANOLAMINE/ALCOOL. LA DIETHANOLAMINE PERMET UNE BONNE STABILISATION DU TETRABUTOXYDE DE TITANE, ET EMPECHE LA FORMATION DE PRECIPITES DANS LA SOLUTION SOURCE. APRES RECUIT A 500 C, LES FILMS TIO#2 SONT PURS ET PRESENTENT UNE POROSITE DE L'ORDRE DE 25%. CETTE POROSITE PEUT ETRE ABAISSEE A MOINS DE 10% PAR RECUIT DIRECT. DES FILMS SIO#2-TIO#2 MIXTES ONT ETE ELABORES A PARTIR DU MELANGE DES SYSTEMES CHIMIQUES PRECEDENTS. L'INDICE DE REFRACTION DE CES FILMS A PU ETRE MODULE CONTINUMENT ENTRE 1,43 (0% DE TITANE) ET 2,25 (100% DE TITANE). AUCUNE DEVIATION DU RAPPORT TI/SI ENTRE LA SOLUTION SOURCE ET LES FILMS RECUITS N'A ETE OBSERVEE. CETTE ETUDE MONTRE QUE LE PROCEDE AEROSOL-GEL EST ADAPTABLE A UN GRAND NOMBRE DE SYSTEMES CHIMIQUES. DE PLUS, SA COMPATIBILITE AVEC UNE PRODUCTION MASSIVE (COUPLAGE POSSIBLE AVEC UN FOUR A DEFILE, OU FOUR A CARROUSSEL) LUI DONNE D'IMPORTANTES POTENTIALITES, EN VUE D'UNE UTILISATION A ECHELLE INDUSTRIELLE
