Utilisation des techniques d'optique guidée pour l'étude des couches minces obtenues par évaporation sous vide PDF Download
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Author: Gilles Deniau
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 201
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Book Description
ON DEVELOPPE UNE METHODE D'OPTIQUE GUIDEE POUR DETERMINER LES CONSTANTES OPTIQUES DES COUCHES MINCES DIELECTRIQUES OBTENUES PAR DEPOT SOUS VIDE, QUI UTILISE LE REPERAGE DES ANGLES DE SYNCHRONISME CORRESPONDANT AUX CONDITIONS DE PROPAGATION DES MODES. RESULTATS EXPERIMENTAUX CONCERNANT DES COUCHES DE SULFURE DE ZINC ET DE DIOXYDE DE TITANE
Author: Gilles Deniau
Publisher:
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Category :
Languages : fr
Pages : 201
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ON DEVELOPPE UNE METHODE D'OPTIQUE GUIDEE POUR DETERMINER LES CONSTANTES OPTIQUES DES COUCHES MINCES DIELECTRIQUES OBTENUES PAR DEPOT SOUS VIDE, QUI UTILISE LE REPERAGE DES ANGLES DE SYNCHRONISME CORRESPONDANT AUX CONDITIONS DE PROPAGATION DES MODES. RESULTATS EXPERIMENTAUX CONCERNANT DES COUCHES DE SULFURE DE ZINC ET DE DIOXYDE DE TITANE
Author: Josep M.. Massaneda-Clares
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Category :
Languages : fr
Pages : 139
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ON DEVELOPPE UN APPAREILLAGE POUR MESURER AVEC LA MEILLEURE PRECISION LES ANGLES DE COUPLAGE DE LA LUMIERE DANS UNE STRUCTURE GUIDANTE. LA COMPARAISON DES RESULTATS EXPERIMENTAUX AVEC CEUX DONNES PAR LA THEORIE DE LA PROPAGATION DES MODES PERMET DE DETERMINER LES CONSTANTES OPTIQUES DU GUIDE ET NOUS DECRIVONS LA TECHNIQUE DE CALCUL MISE AU POINT POUR RESOUDRE CE PROBLEME. ON EXPLOITE CETTE METHODE DE CARACTERISATION POUR ETUDIER DES COUCHES D'OXYDE DE TANTALE PRODUITES PAR LES TECHNIQUES DE L'EVAPORATION ASSISTEE PAR FAISCEAU D'IONS (IAD) ET DE L'EVAPORATION ASSISTEE PAR PLASMA (IP). ON ATTEINT UNE PRECISION DE L'ORDRE DU MILLIEME SUR LES MESURES D'INDICE ET DU NANOMETRE SUR L'EPAISSEUR, CE QUI NOUS PERMET D'ETUDIER LA REPETABILITE DE PRODUCTION DES COUCHES. LA SENSIBILITE DES MESURES EST SUFFISANTE POUR MONTRER UNE BIREFRINGENCE D'INDICE ENTRE LES POLARISATIONS TE ET TM DANS CES COUCHES. LORSQUE LA STRUCTURE GUIDANTE EST UN EMPILEMENT DE COUCHES ET NON UNE COUCHE ISOLEE, IL EST BEAUCOUP PLUS DIFFICILE DE DETERMINER LES CARACTERISTIQUES DU GUIDE SANS AMBIGUITE. ON ARRIVE NEANMOINS A UNE PRECISION DU MILLIEME SUR LES COUCHES D'INDICE ELEVE MAIS LA LIMITE DE L'ACCORD ENTRE L'EXPERIENCE ET LE CALCUL AMENE DES INCERTITUDES DE PLUSIEURS MILLIEMES SUR LES COUCHES DE BAS INDICE. LA PRECISION EST ESSENTIELLEMENT LIMITEE PAR LE FAIT QUE LES COUCHES N'ONT PAS UN COMPORTEMENT STRICTEMENT CONFORME A CELUI QU'ON LEUR ATTRIBUE DANS LES CALCULS AVEC LE MODELE DE LA COUCHE PARFAITE. ON CHERCHE LES MOYENS DE PERFECTIONNER LA CARACTERISATION EN TENANT COMPTE DE LA DISTRIBUTION DE CHACUN DES MODES DANS LA STRUCTURE.
Author: Pierre Lostis
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 94
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Author: Hervé Leplan
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 216
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LES COUCHES MINCES UTILISEES POUR LE TRAITEMENT DES DISPOSITIFS OPTIQUES SONT GENERALEMENT CONTRAINTES. CES CONTRAINTES RESIDUELLES PEUVENT ABOUTIR A L'INSTABILITE MECANIQUE DU COMPOSANT (PROPAGATION DE FISSURES, DECOLLEMENT) ET SONT A L'ORIGINE DE LA DEFORMATION DES PIECES OPTIQUES. CE TRAVAIL APPORTE UNE CONTRIBUTION A LA CONNAISSANCE DES MECANISMES FONDAMENTAUX DE GENERATION DES CONTRAINTES RESIDUELLES DANS LES COUCHES MINCES OPTIQUES. L'ETUDE COMPAREE DE COUCHES MINCES D'OXYDES (SIO#2, ZRO#2, HFO#2, SIO#XN#Y) OBTENUES PAR TROIS TECHNIQUES DE DEPOT DIFFERENTES (EVAPORATION REACTIVE, EVAPORATION ASSISTEE PAR FAISCEAU D'IONS ET PULVERISATION PAR FAISCEAU D'IONS AVEC CROISSANCE DE LA COUCHE ASSISTEE PAR BOMBARDEMENT D'IONS) A PERMIS DE SOULIGNER LA DIVERSITE DES MECANISMES DE GENERATION DES CONTRAINTES RESIDUELLES ET LEUR EVOLUTION AVEC L'ENERGIE DES PARTICULES QUI PARTICIPENT AU PROCESSUS DE CROISSANCE DES COUCHES. POUR CHACUNE DE CES TECHNIQUES, LES PARAMETRES ET PROCESSUS FONDAMENTAUX QUI DETERMINENT L'ETAT DE CONTRAINTE INTRINSEQUE DE LA COUCHE MINCE ONT ETE IDENTIFIES. LE DEVELOPPEMENT D'UNE METHODE DE CARACTERISATION IN SITU DES CONTRAINTES SOUS VIDE OU EN FONCTION DE LA TEMPERATURE A PAR AILLEURS PERMIS DE METTRE EN EVIDENCE L'INFLUENCE SUR LES CONTRAINTES DE LA FIXATION DES MOLECULES D'EAU DANS LES COUCHES. A PARTIR DES RESULTATS ACQUIS SUR LES COUCHES ELEMENTAIRES, DIVERSES METHODES SONT ALORS PROPOSEES POUR LA REALISATION DE TRAITEMENTS MULTICOUCHES COMPLEXES, MECANIQUEMENT STABLES ET A PLANEITE CONTROLEE
Author: Josep Massaneda-Clares
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ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 0
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Author: Patrick Chaton
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ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 218
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DANS CE MEMOIRE LES TROIS PRINCIPALES TECHNIQUES DE CARACTERISATION OPTIQUE LA SPECTROPHOTOMETRIE, L'ELLIPSOMETRIE, L'OPTIQUE GUIDEE SONT COMPAREES. UN EFFORT EST PORTE SUR LA MESURE DE L'INHOMOGENEITE D'INDICE DE REFRACTION. IL RESSORT DE CETTE COMPARAISON QUE LA SPECTROPHOTOMETRIE ET L'ELLIPSOMETRIE SONT BIEN ADAPTEES A LA DETERMINATION DES INHOMOGENEITES D'INDICE. DEUX METHODES D'ANALYSE AUTOMATIQUE DES SPECTRES MESURES SONT DEVELOPPEES, ELLES SONT ILLUSTREES PAR L'ETUDE DES COUCHES MINCES DE DIOXYDE DE TITANE REALISEES EN PULVERISATION PAR FAISCEAUX D'IONS. A LA SUITE DE CETTE ETUDE, LES INSUFFISANCES DU MODELE DE COUCHES SONT MISES EN EVIDENCE. ON MONTRE EN PARTICULIER QUE LA QUALITE DES SUBSTRATS, ET LA MAITRISE DE L'UNIFORMITE DE DEPOT SONT INDISPENSABLES A LA REALISATION D'UNE CARACTERISATION OPTIQUE SATISFAISANTE. POUR QUALIFIER LES SUBSTRATS ET LE DEFAUT D'UNIFORMITE, UN APPAREIL DE CARTOGRAPHIE DE LA LUMIERE DIFFUSEE EST UTILISE
Author: Dominique Martin Endelema
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Category :
Languages : fr
Pages : 192
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LA STRUCTURE EN COLONNES DE CERTAINES COUCHES MINCES DIELECTRIQUES CONFERE AUX TRAITEMENTS DES SURFACES DES PROPRIETES OPTIQUES QU'UN MODELE DE COUCHE ISOTROPE NE SUFFIT PAS A EXPLIQUER. ON UTILISE LE MODELE DE STRUCTURE EN COLONNES POUR DECRIRE LE COMPORTEMENT D'UNE ONDE OPTIQUE DANS CES MATERIAUX EN FILMS MINCES. LA THEORIE ELECTROMAGNETIQUE PERMET DE PREVOIR LEURS PROPRIETES OPTIQUES AUSSI BIEN EN REFLEXION ET TRANSMISSION QU'EN OPTIQUE GUIDEE QUELLE QUE SOIT L'ORIENTATION DU PLAN D'INCIDENCE PAR RAPPORT AUX COLONNES. LE DEVELOPPEMENT D'APPAREILLAGES PERFORMANTS DE MESURE DES CONSTANTES DE PROPAGATION GUIDEE (METHODES DES M-LINES) ET DE LA TRANSMISSION EN LUMIERE POLARISEE PERMET DE RELEVER LA MODULATION DE CES PROPRIETES OPTIQUES LORSQUE LE PLAN D'INCIDENCE TOURNE PAR RAPPORT A L'ORIENTATION DES COLONNES. EN ASSOCIANT LE FORMALISME DEVELOPPE AUX MESURES DE TRANSMISSION ON DETECTE AVEC UNE BONNE SENSIBILITE LA DEPENDANCE DE L'ANISOTROPIE DE COUCHES TIO#2 DEPOSEES PAR EVAPORATION SOUS VIDE A L'AIDE D'UN CANON A ELECTRONS, AVEC L'INCIDENCE DE LA MATIERE. A TITRE D'EXEMPLE D'APPLICATION, ON S'INTERESSE A L'UNIFORMITE SUR DES GRANDES SURFACES, DES DEPOTS DE COUCHES DE TIO#2 ET DE LA TA#2O#5 REALISEES AVEC L'ASSISTANCE D'UN FAISCEAU D'IONS ET PAR LA TECHNIQUE DITE ION PLATING
Author: Bernard Schmitt (auteur d'une thèse de physique)
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Languages : fr
Pages : 180
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DEVELOPPEMENT D'UNE TECHNIQUE DE DETERMINATION DE L'INDICE DE REFRACTION ET DE L'EPAISSEUR AU COURS DU DEPOT DES COUCHES. LES RESULTATS DE CES MESURES CLASSIQUES EFFECTUEES A L'AIR AU MOYEN D'UN SPECTROPHOTOMETRE DE PRECISION. APPLICATION AU CONTROLE PRECIS DE LA FABRICATION DE FILTRES MULTIDIELECTRIQUES
Author: Bernard Schmitt
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 191
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Author: André Daudé
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 125
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