Profilométrie optique par méthodes inverses de diffraction électromagnétique PDF Download
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Author: Slimane Arhab
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 112
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Book Description
La profilométrie optique est une technique de métrologie de surface rapide et non destructive. Dans ce mémoire, nous avons abordé cette problématique par des méthodes inverses de diffraction électromagnétique et dans une configuration de type Microscopie Tomographique Optique par Diffraction (ODTM). La surface est sondée par un éclairement sous plusieurs angles d'incidences ; la mesure en amplitude et en phase du champ lointain diffracté constitue les données du problème. Des profils de surfaces ont été reconstruits en considérant différents modèles de diffraction, parmi lesquelles une méthode approchée fondée sur les approximations de diffusion simple et de paraxialité. La résolution latérale de cette méthode et des techniques classiques de profilométrie est limitée par le critère d'Abbe-Rayleigh, défini sur la base de l'ouverture numérique pour l'éclairement et la détection du champ. Afin de dépasser cette limite de résolution, nous avons développé une méthode itérative de Newton-Kantorovitch régularisée. L'opérateur de diffraction y est rigoureusement modélisé par une méthode des moments, résolution numérique des équations du formalisme intégral de frontière, et l'expression de la dérivée de Fréchet de cet opérateur est obtenue par la méthode des états adjoints, à partir du théorème de réciprocité. Pour les surfaces unidimensionnelles métalliques, notre technique permet d'inverser à partir de données synthétiques des surfaces très rugueuses avec une résolution au delà du critère d'Abbe-Rayleigh.
Author: Slimane Arhab
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Category :
Languages : fr
Pages : 112
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Book Description
La profilométrie optique est une technique de métrologie de surface rapide et non destructive. Dans ce mémoire, nous avons abordé cette problématique par des méthodes inverses de diffraction électromagnétique et dans une configuration de type Microscopie Tomographique Optique par Diffraction (ODTM). La surface est sondée par un éclairement sous plusieurs angles d'incidences ; la mesure en amplitude et en phase du champ lointain diffracté constitue les données du problème. Des profils de surfaces ont été reconstruits en considérant différents modèles de diffraction, parmi lesquelles une méthode approchée fondée sur les approximations de diffusion simple et de paraxialité. La résolution latérale de cette méthode et des techniques classiques de profilométrie est limitée par le critère d'Abbe-Rayleigh, défini sur la base de l'ouverture numérique pour l'éclairement et la détection du champ. Afin de dépasser cette limite de résolution, nous avons développé une méthode itérative de Newton-Kantorovitch régularisée. L'opérateur de diffraction y est rigoureusement modélisé par une méthode des moments, résolution numérique des équations du formalisme intégral de frontière, et l'expression de la dérivée de Fréchet de cet opérateur est obtenue par la méthode des états adjoints, à partir du théorème de réciprocité. Pour les surfaces unidimensionnelles métalliques, notre technique permet d'inverser à partir de données synthétiques des surfaces très rugueuses avec une résolution au delà du critère d'Abbe-Rayleigh.
Author: Lan Dau Thi Thuy
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 155
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Book Description
L'ANALYSE NON DESTRUCTIVE D'UN MILIEU COMPLEXE OFFRE DES APPLICATIONS MULTIPLES DANS DES DOMAINES AUSSI VARIES QUE L'IMAGERIE MEDICALE, LA TELEDETECTION, LA GEOPHYSIQUE, ETC... LA METHODE UTILISEE CONSISTE EN UNE EXPLORATION DU MILIEU PAR UNE ONDE ELECTROMAGNETIQUE. A PARTIR DU CHAMP DIFFRACTE MESURE SUR UNE SURFACE SITUEE EN ARRIERE DE L'OBJET ON PEUT DETERMINER EN GRANDEUR ET EN POSITION LES CARACTERISTIQUES DU MILIEU TRAVERSE PAR L'ONDE. OR CETTE RECONSTRUCTION SE REVELE UN PROBLEME INVERSE MAL-POSE. UN ALGORITHME DE RECONSTRUCTION QUANTITATIVE, BASE SUR UNE TECHNIQUE STATISTIQUE DITE METHODE A MAXIMUM D'ENTROPIE A ETE CONCU, REALISE ET TESTE. DU POINT DE VUE DU TRAITEMENT DU SIGNAL LE FORMALISME DE MAXIMUM D'ENTROPIE A ETE UTILISE COMME UNE FONCTION DE REGULARISATION NON QUADRATIQUE. C'EST JUSTEMENT CETTE FORTE NON-LINEARITE QUI APPORTE UNE AMELIORATION DE LA RESOLUTION PAR RAPPORT AUX AUTRES METHODES D'INTERPOLATION LINEAIRE. POUR DES APPLICATIONS SPECIFIQUES EN MICROONDES LA METHODE A DU ETRE ETENDUE A LA DEFINITION ET AU TRAITEMENT DE L'ENTROPIE COMPLEXE. CETTE DEMARCHE A ETE RENDUE NECESSAIRE POUR TRAITER LES PROBLEMES DE DIFFRACTION ELECTROMAGNETIQUE QUI PRESENTENT UN CARACTERE COMPLEXE DU A L'EXISTENCE SIMULTANEE D'UNE AMPLITUDE ET D'UNE PHASE. LE PROGRAMME DEVELOPPE A ETE TESTE POUR DES OBJETS DE FORME ET DE NATURE DIFFERENTES, NOTAMMENT CERTAINS ONT PRESENTE UN CARACTERE COMPLEXE. LES RESULTATS MONTRENT QUE CET ALGORITHME SE REVELE PERFORMANT MEME DANS LE CAS DE CHAMPS ELECTROMAGNETIQUES DE FAIBLE AMPLITUDE EN PRESENCE DU BRUIT. LA COMPARAISON AVEC CEUX D'AUTRES AUTEURS A MONTRE UNE PARFAITE SIMILITUDE DANS LES RESULTATS ET UN GAIN DE TEMPS DE CALCUL APPRECIABLE. ENFIN, L'ETUDE A ETE FAITE DE FACON COMPLETE A DEUX DIMENSIONS, L'ETUDE A TROIS DIMENSIONS A ETE ABORDEE MAIS N'A PU ABOUTIR FAUTE DE MOYENS INFORMATIQUES SUFFISAMMENT PUISSANTS
