CONTRIBUTION A L'ETUDE DES TRANSFERTS D'ENERGIE PLASMA/PARTICULES DANS LE CAS DE PLASMA D'INDUCTION ET DE PLASMA D'ARC SOUFFLE PDF Download
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Author: Alain Roux
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APRES UN PASSAGE EN REVUE DES DIFFERENTES TECHNIQUES UTILISEES POUR LA PROJECTION THERMIQUE, NOUS DECRIVONS L'EVOLUTION DES MODELES NUMERIQUES AINSI QUE LES METHODES DE MESURE ET DE DIAGNOSTIC DU PLASMA ET DES PARTICULES QUI Y SONT INTRODUITES. LA TECHNIQUE DE PROJECTION PAR PLASMA D'INDUCTION A ETE MISE EN UVRE ET UNE NOUVELLE TECHNIQUE DE CARACTERISATION PAR CAMERA VIDEO RAPIDE A ETE EMPLOYEE POUR VISUALISER DYNAMIQUEMENT LE PLASMA ET LES PARTICULES. DES MESURES STATISTIQUES SUR LA VITESSE DES PARTICULES ONT PERMIS DE COMPARER LES DEUX METHODES DE PROJECTION: PAR PLASMA D'INDUCTION ET PAR PLASMA D'ARC SOUFFLE
Author: Alain Roux
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APRES UN PASSAGE EN REVUE DES DIFFERENTES TECHNIQUES UTILISEES POUR LA PROJECTION THERMIQUE, NOUS DECRIVONS L'EVOLUTION DES MODELES NUMERIQUES AINSI QUE LES METHODES DE MESURE ET DE DIAGNOSTIC DU PLASMA ET DES PARTICULES QUI Y SONT INTRODUITES. LA TECHNIQUE DE PROJECTION PAR PLASMA D'INDUCTION A ETE MISE EN UVRE ET UNE NOUVELLE TECHNIQUE DE CARACTERISATION PAR CAMERA VIDEO RAPIDE A ETE EMPLOYEE POUR VISUALISER DYNAMIQUEMENT LE PLASMA ET LES PARTICULES. DES MESURES STATISTIQUES SUR LA VITESSE DES PARTICULES ONT PERMIS DE COMPARER LES DEUX METHODES DE PROJECTION: PAR PLASMA D'INDUCTION ET PAR PLASMA D'ARC SOUFFLE
Author: Edited by Basil R. Marple, Margaret M. Hyland, Yuk-Chiu Lau, Chang-Jiu Li, Rogerio S. Lima, Ghislain Montavon
Publisher: ASM International
ISBN: 1615031278
Category :
Languages : en
Pages : 1246
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Author: Pierre-Antoine Cormier
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Languages : fr
Pages : 0
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La connaissance de l'énergie transférée aux surfaces en contact avec un plasma basse pression est un paramètre clé pour le contrôle des procédés plasmas basse pression. Sa détermination permet une meilleure compréhension des mécanismes mis en jeu lors du dépôt ou la gravure de couches couches minces. Elle dépend des espèces du plasma (les ions, les électrons et les neutres) ainsi que de nombreux mécanismes physiques ou chimiques (réaction, condensation, émission radiative.). Elle peut être déterminée par la simulation du transport des particules dans le plasma, par des estimations de chaque contribution à partir des paramètres plasma ou tout simplement mesurée. Les études dédiées à sa mesure sont principalement basées sur l'utilisation d'une sonde calorimétrique, dont le principe sur l'interpolation du thermogramme mesuré. Ce type de méthode induit un long temps de mesure (2 min) et est source d'incertitudes. Un outil de diagnostic pour la mesure directe de l'énergie transférée a été développé au GREMI. Il est basé sur l'adaptation d'un capteur à thermopile initialement dédié à des mesures à pression atmosphérique. Cette thèse a donc été dédié à son développement et son utilisation pour l'étude de différents procédés plasmas basse pression : un propulseur spatial à effet Hall, un plasma poudreux, mais surtout de décharges magnétron. Des mesures ont été réalisées lors du dépôt de titane, d'aluminium, de TiO2 et de Al2O3. Les influences de la configuration magnétique de la cathode, du type de décharge, de l'échauffement des cibles, sur les conditions énergétiques à la surface du film en croissance ont été étudiées.
Author: Jacques Cheylan
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Languages : fr
Pages : 4
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Notre étude avait pour but la mise au point de techniques de mesure du transfert de chaleur entre un plasma et un solide dans quelques configurations particulières et l'élaboration de modèles mathématiques simples qui, en faisant intervenir les propriétés de transfert d'un plasma analogues à celles d'un fluide, permettent de calculer les flux de chaleur transférés dans chaque cas envisagés. Nous rappelerons ici les principaux résultats obtenus en dégageant leurs incertitudes pour proposer quelques prolongements à ce travail.
Author: CYRIL LOUIS CHRISTIAN.. DOUDOU
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Languages : fr
Pages : 225
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LA RECHERCHE TENTE DEPUIS PLUSIEURS ANNEES DE MULTIPLIER LES DEBOUCHES INDUSTRIELS POUR LES PROCEDES A PLASMA D'INDUCTION DE FORTE PUISSANCE. DANS LE DOMAINE DES MATERIAUX NOTAMMENT, CERTAINES APPLICATIONS SONT PROMETTEUSES. NOTRE TRAVAIL CONCERNE L'ETUDE D'UN PROCEDE A PLASMA INDUCTIF DEDIE AU TRAITEMENT DE POUDRES. NOUS DEVELOPPONS UNE DEMARCHE ORIGINALE S'APPUYANT SUR LA NOTION DE TRACEUR UTILISEE EN GENIE DE LA REACTION CHIMIQUE. IL S'AGIT D'INJECTER DANS LA DECHARGE DES MATERIAUX SELECTIONNES POUR LEURS PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES. AU COURS DE LEUR PASSAGE DANS LE PLASMA, ILS SUBISSENT UNE TRANSFORMATION TEMOIGNANT DE LEUR HISTOIRE THERMIQUE. APRES CARACTERISATION DES MATERIAUX, ON PEUT EN EMPLOYANT UNE METHODE STATISTIQUE, REMONTER AUX TEMPERATURES DE LA DECHARGE ET A LA DISTRIBUTION DES TEMPS DE SEJOUR DES POUDRES. DANS NOTRE ETUDE, CES DEUX PARAMETRES SE CONFONDENT EN UNE VARIABLE APPELEE TEMPS THERMIQUE, DONT LE CONCEPT A ETE PROPOSE PAR NAUMAN. LA MESURE DE CETTE VARIABLE DEMANDE LE DEVELOPPEMENT CONJOINT D'UNE SIMULATION NUMERIQUE ET D'UNE APPROCHE EXPERIMENTALE. NOTRE MODELISATION DE L'INTERACTION ENTRE LE PLASMA ET LES PARTICULES REPOSE SUR L'ETUDE DES PHENOMENES DE TRANSPORT DE CHALEUR ET DE MATIERE. NOUS EVALUONS ALORS L'HISTOIRE THERMIQUE DES PARTICULES DANS LA DECHARGE. EXPERIMENTALEMENT, UN PROCEDE DE MESURE BAPTISE THERMOMETRE A YTTRIUM, FOURNIT UN APERCU DE LA DISTRIBUTION DES TEMPERATURES DU PLASMA EN FONCTION DES CONDITIONS OPERATOIRES. NOUS OPTIMISONS AINSI LES CONDITIONS D'INJECTION. FINALEMENT, LES REPERCUSSIONS DES VARIATIONS DU REGLAGE DU PROCEDE SONT OBSERVEES SUR DES PARTICULES DE ZIRCONE POREUSE, TRACEUR RETENU. LES ANALYSES MONTRENT UNE IMPORTANTE HETEROGENEITE DANS LE TRAITEMENT, RESULTAT D'UNE DISTRIBUTION TRES LARGE DES TEMPS THERMIQUES DANS LE REACTEUR. LES CAUSES DE CETTE HETEROGENEITE SONT EXAMINEES, ET DES CONSEQUENCES SONT TIREES QUANT AUX LIMITES DES PROCEDES A PLASMA INDUCTIF DANS LE TRAITEMENT DES POUDRES.
Author: Hugues Hingana
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Languages : fr
Pages : 166
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Dans le domaine des plasmas thermiques, de nombreux procédés industriels sont caractérisés en supposant l'équilibre thermique. Cependant ces conditions d'équilibre ne sont pas remplies près des bords des plasmas crées par des arcs électriques ou des jets de plasmas. Les écarts à l'équilibre modifient alors considérablement la cinétique chimique du milieu et peuvent affecter le procédé étudié. La compréhension, l'analyse et la prédiction de ces procédés demandent alors une modélisation physique du plasma à deux températures (2T). Cette modélisation s'appuie sur le calcul préalable des propriétés du plasma 2T, calcul qui fait l'objet de cette thèse. La première partie de ce travail est consacrée au calcul de la composition d'un plasma à 2T. Il existe dans la littérature plusieurs théories permettant de calculer les densités des espèces pour un plasma hors équilibre mais l'originalité de ce travail se trouve dans l'établissement d'une loi " pseudo cinétique " régissant le peuplement des espèces. La seconde partie concerne le calcul des propriétés thermodynamiques. Elle s'appuie sur une étude bibliographique des méthodes de calcul déjà existantes et des données indispensables à l'obtention de telles propriétés. Un effort particulier est fait pour séparer les contributions des électrons et celles des particules lourdes dans les échanges d'énergie. La dernière partie de cette thèse est dédiée aux calculs des coefficients de transport. Nous évoquons les grandes lignes de calculs des propriétés intermédiaires avant de présenter les différentes théories existantes dans la littérature. Tous les résultats ont été validés par confrontation du calcul à l'ETL avec la littérature.
Author: KHALED.. HASSOUNI
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Languages : fr
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DANS CE TRAVAIL NOUS AVONS PRESENTE UNE APPROCHE RELATIVE A LA MODELISATION DU TRANSFERT D'ENERGIE ENTRE DES PLASMAS BASSE PRESSION D'AZOTE OU D'OXYGENE ET UNE SURFACE METALLIQUE. LE MODELE PROPOSE EST APPLICABLE DANS LE CAS DE PLASMAS BASSE PRESSION DONT LES CONDITIONS DE DECHARGES SONT TELLES QUE LA PRESSION EST COMPRISE ENTRE 1 ET 10 MBAR, LA TEMPERATURE CINETIQUE DES ELECTRONS INFERIEURE A 21000 K, LA TEMPERATURE CINETIQUE DES LOURDS COMPRISE ENTRE 300 K ET 1200 K, ET LE TAUX D'IONISATION INFERIEUR A 10##4. LE MODELE PROPOSE S'APPUIE SUR UNE DESCRIPTION DE L'ECOULEMENT PLASMA D'UN POINT DE VUE THERMOCHIMIQUE ET AERODYNAMIQUE D'UNE PART ET SUR UNE DESCRIPTION DES INTERACTIONS ET DU TRANSFERT D'ENERGIE ENTRE LES ESPECES DU PLASMA ET UNE SURFACE D'AUTRE PART. LA PREMIERE PHASE DE CE TRAVAIL A CONSISTE A EFFECTUER UNE ETUDE DE LA CINETIQUE CHIMIQUE CARACTERISANT LES ECOULEMENTS PLASMAS ETUDIES. NOUS AVONS ENSUITE EFFECTUE UNE ETUDE DES INTERACTIONS PLASMA-SURFACE QUI NOUS A PERMIS DE QUANTIFIER LES TRANSFERTS D'ENERGIE ENTRE LES ESPECES DU PLASMA ET LA SURFACE. LA RESOLUTION DES EQUATIONS DE CONSERVATION ASSORTIES DES CONDITIONS AUX LIMITES DEFINIES PAR LE MODELE D'INTERACTION PLASMA-SURFACE, NOUS A PERMIS DE SIMULER UN REACTEUR TUBULAIRE PLASMA BASSE PRESSION D'AZOTE ET D'OXYGENE CONTENANT UN ECHANTILLON DE TUNGSTENE EN POINT D'ARRET. UNE VALIDATION DU MODELE A ETE EFFECTUEE DANS LE CAS D'UN PLASMA D'AZOTE A PARTIR D'UNE MESURE DES TEMPERATURES PAR SPECTROSCOPIE D'EMISSION. LES RESULTATS OBTENUS ONT MONTRE L'IMPORTANCE DU POIDS DE LA RECOMBINAISON CATALYTIQUE DES ATOMES DANS LA CINETIQUE D'ECHAUFFEMENT DE LA SURFACE. CELA NOUS A AMENE A METTRE EN UVRE UNE METHODE EXPERIMENTALE DE DETERMINATION DES COEFFICIENTS DE RECOMBINAISON D'ATOMES SUR DES SURFACES PEU CATALYTIQUES. CETTE METHODE A ETE APPLIQUEE AU CAS DU SYSTEME O/SIO#2
Author: Said Fantassi
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Languages : fr
Pages : 391
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LES PROPRIETES D'UN DEPOT REALISE PAR PROJECTION PLASMA DEPENDENT EN GRANDE PARTIE DE LA FACON DONT LES PARTICULES S'ECRASENT ET SE SOLIDIFIENT SUR LE SUBSTRAT A REVETIR. LES CINETIQUES D'ETALEMENT DU MATERIAU FONDU ET LA VITESSE DE TREMPE (100 K/US) DEPENDENT D'UNE PART DES PARAMETRES A L'IMPACT (VITESSE, TEMPERATURE, TAILLE) ET D'AUTRE PART DES PARAMETRES DU SUBSTRAT (NATURE, ETAT DE SURFACE, RUGOSITE, TEMPERATURE). ELLES CONDITIONNENT LA FORME ET L'EPAISSEUR DES LAMELLES OBTENUES ET LES POINTS DE CONTACT ENTRE LES LAMELLES ET LE SUBSTRAT ET ENTRE LES LAMELLES ELLES-MEMES. POUR AVOIR UNE MEILLEURE COMPREHENSION DES PHENOMENES CONTROLANT L'ECRASEMENT ET LE REFROIDISSEMENT DES PARTICULES SUR UN SUBSTRAT OU LES COUCHES PREALABLEMENT DEPOSEES, NOUS AVONS DEVELOPPE UN DISPOSITIF CONSTITUE DE DEUX PYROMETRES RAPIDES (TEMPS DE REPONSE 100 NS). LE PREMIER PYROMETRE EST FOCALISE A 2 MM EN AMONT DU SUBSTRAT ET LE SECOND SUR LE SUBSTRAT. CE DISPOSITIF DENOMME PASM: (PULSE ANALYSIS FOR SPLAT MONITORING) PERMET DE DETERMINER POUR UNE PARTICULE SA VITESSE, SA TEMPERATURE ET SA TAILLE AVANT IMPACT ET DE SUIVRE L'EVOLUTION DE SA TEMPERATURE PENDANT SON ETALEMENT ET SON REFROIDISSEMENT. NOUS PRESENTONS DES RESULTATS OBTENUS AVEC DES PARTICULES DE ZIRCONE DE GRANULOMETRIE 22+45 UM PROJETEES SUR DES SUBSTRATS EN ACIER OU EN VERRE. A PARTIR DE CES RESULTATS EXPERIMENTAUX, NOUS AVONS ETABLI UNE CORRELATION PERMETTANT DE PREDIRE LE DEGRE D'ETALEMENT DES GRAINS EN FONCTION DU NOMBRE DE REYNOLDS DEFINI A PARTIR DES PARAMETRES DES PARTICULES A L'IMPACT. CETTE CORRELATION EST VOISINE DE CELLE ETABLIE NUMERIQUEMENT PAR YOSHIDA ET AL.
Author: Nguyen Van Trong
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Author: Mariem El Mokh Halloumi
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Languages : fr
Pages : 0
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Pour un bon contrôle du procédé de dépôt par pulvérisation magnétron et donc des propriétés des films déposés, une meilleure connaissance des processus de pulvérisation d'une part, et de croissance du film d'autre part est nécessaire. Une façon de mettre en évidence les différents mécanismes impliqués consiste à étudier les transferts d'énergie plasma/surface en temps réel pendant le procédé. Depuis une dizaine d'année, un outil de diagnostic permettant de mesurer directement l'énergie transférée, appelé 'fluxmètre' ou HFM (pour Heat Flux Microsensor), a été développé au GREMI. Il est basé sur l'insertion d'une thermopile dans un système adapté aux enceintes plasma basse pression. Bien que ce capteur de flux constitue un très bon outil de contrôle, son couplage avec d'autres diagnostics de la phase gazeuse (spectromètre de masse, spectroscopie d'émission, analyseur d'énergie etc.) et de caractérisation des films déposés (MEB, DRX, RBS,...) est nécessaire pour avoir une analyse complète du régime étudié. Pendant cette thèse, le fluxmètre a été principalement utilisé pour l'étude de trois régimes particuliers de pulvérisation magnétron en mode DC (Courant Continu); la pulvérisation en condition réactive, la pulvérisation d'une cible magnétique et la pulvérisation d'une cible chaude. Ce travail a permis de mettre en évidence des transitions de régimes dans le cas de la pulvérisation en mode réactif (oxydemétal) et à partir d'une cible magnétique (Ferro-paramagnétique). De plus, lorsqu'une cible monte en température, elle émet un rayonnement IR qui peut être absorbé avec plus ou moins d'efficacité par le film en cours de croissance. Les expériences menées dans le cadre de cette thèse ont contribué à l'étude de l'influence que cette contribution énergétique, différente de celle des processus collisionnels (condensation des atomes pulvérisés, interaction avec les ions, électrons etc.) peut avoir sur les films synthétisés.
