Mechanical Reconstruction of an Industrial 915MHz Microwave Cavity Plasma Reactor System for Chemical Vapor Deposition Diamond Processes PDF Download
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Author: Jörg Fricke
Publisher: diplom.de
ISBN: 3832475885
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 116
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Book Description
Inhaltsangabe:Zusammenfassung: Synthetische Diamanten sind in Industrie und Wissenschaft sehr attraktiv, schaffen sie doch den Kompromiss zwischen einzigartigen Materialeigenschaften und geringen Anschaffungskosten. Mit der Verfeinerung von geeigneten CVD-Methoden und der intensiven Entwicklung von Reaktoren und Anlagen konnten die Herstellungskosten weiter gesenkt und vor allem enorme Fortschritte bei den möglichen Anwendungen und Abmessungen erzielt werden. Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit dem Wiederaufbau und der Integration einer unbekannten industriellen 915MHz MCPR-Anlage (microwave cavity plasma reactor), für die Herstellung von CVD-Diamanten. Dabei wird umfangreich über den Stand der Technik bei relevanten CVD-Reaktoren, Anwendungsmöglichkeiten, Synthese und Materialeigenschaften von synthetischen Diamanten eingegangen. Weiterhin wird der Aufbau und die Wirkungsweise der MCPR-Reaktoranlage beschrieben. Neben der Analyse der Ausgangsbedingungen wird auf die Umsetzung der Teilprobleme wie den Wiederaufbau des Mikrowellensystems, Vakuumanlage, Prozessgassystem und das Wasserkühlsystem eingegangen, wobei spezifische Probleme (Design, Funktion, Fehler, notwendige Änderungen) analysiert und Lösungen besprochen werden. Dabei werden Dimensionierungen von Kühlleistungen, Gasbedarfe (Prozessgase) und Einstellungen bei unbekannten Systemeigenschaften beschrieben. Weiterhin werden Dimensionierung und Auswahl von einem Kühlaggregat und Gaskühlströmen, die Konstruktion und Dimensionierung einer Hebevorrichtung und Kammergrößenskala und adäquate Systemparameterwahl erläutert, wobei auf jeweilige (un-) bekannte Randbedingungen eingegangen werden. Mit der Entscheidung von geeigneten Methoden (Helium-Leck-Test, Mikrowellenstrahlung u.a.) wurden die Teilsysteme auf Funktion und Sicherheit überprüft. Mit geeigneten Berechnungen konnten notwendige Reinheiten im Vakuumbereich (Leckratenbeurteilung, Prozessgaswechsel) erwiesen werden. Abschließend werden Funktionstests und Auswirkungen auf den gewählten Aufbau der Anlage beschrieben und Ausblicke für weitere Modifikationen und Verbesserungen gemacht. Die Arbeit zeigt mit 29 Abbildungen, 10 Tabellen und 24 Anlagen (Skizzen, Tabellen, u.a.) unterschiedliche Problemlösungen beim Wiederaufbau der Reaktoranlage. Inhaltsverzeichnis:Table of Contents: Assignment (Aufgabenstellung)ii Bibliographical Delineation (Bibliographische Beschreibung und Referat)iii Declaration [...]
Author: Jörg Fricke
Publisher: diplom.de
ISBN: 3832475885
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 116
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Inhaltsangabe:Zusammenfassung: Synthetische Diamanten sind in Industrie und Wissenschaft sehr attraktiv, schaffen sie doch den Kompromiss zwischen einzigartigen Materialeigenschaften und geringen Anschaffungskosten. Mit der Verfeinerung von geeigneten CVD-Methoden und der intensiven Entwicklung von Reaktoren und Anlagen konnten die Herstellungskosten weiter gesenkt und vor allem enorme Fortschritte bei den möglichen Anwendungen und Abmessungen erzielt werden. Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit dem Wiederaufbau und der Integration einer unbekannten industriellen 915MHz MCPR-Anlage (microwave cavity plasma reactor), für die Herstellung von CVD-Diamanten. Dabei wird umfangreich über den Stand der Technik bei relevanten CVD-Reaktoren, Anwendungsmöglichkeiten, Synthese und Materialeigenschaften von synthetischen Diamanten eingegangen. Weiterhin wird der Aufbau und die Wirkungsweise der MCPR-Reaktoranlage beschrieben. Neben der Analyse der Ausgangsbedingungen wird auf die Umsetzung der Teilprobleme wie den Wiederaufbau des Mikrowellensystems, Vakuumanlage, Prozessgassystem und das Wasserkühlsystem eingegangen, wobei spezifische Probleme (Design, Funktion, Fehler, notwendige Änderungen) analysiert und Lösungen besprochen werden. Dabei werden Dimensionierungen von Kühlleistungen, Gasbedarfe (Prozessgase) und Einstellungen bei unbekannten Systemeigenschaften beschrieben. Weiterhin werden Dimensionierung und Auswahl von einem Kühlaggregat und Gaskühlströmen, die Konstruktion und Dimensionierung einer Hebevorrichtung und Kammergrößenskala und adäquate Systemparameterwahl erläutert, wobei auf jeweilige (un-) bekannte Randbedingungen eingegangen werden. Mit der Entscheidung von geeigneten Methoden (Helium-Leck-Test, Mikrowellenstrahlung u.a.) wurden die Teilsysteme auf Funktion und Sicherheit überprüft. Mit geeigneten Berechnungen konnten notwendige Reinheiten im Vakuumbereich (Leckratenbeurteilung, Prozessgaswechsel) erwiesen werden. Abschließend werden Funktionstests und Auswirkungen auf den gewählten Aufbau der Anlage beschrieben und Ausblicke für weitere Modifikationen und Verbesserungen gemacht. Die Arbeit zeigt mit 29 Abbildungen, 10 Tabellen und 24 Anlagen (Skizzen, Tabellen, u.a.) unterschiedliche Problemlösungen beim Wiederaufbau der Reaktoranlage. Inhaltsverzeichnis:Table of Contents: Assignment (Aufgabenstellung)ii Bibliographical Delineation (Bibliographische Beschreibung und Referat)iii Declaration [...]
Author: M. L. Hitchman
Publisher: Academic Press
ISBN:
Category : Science
Languages : en
Pages : 692
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Book Description
This wide-ranging volume covers recent developments in the theoretical understanding of the chemistry and physics of chemical vapour deposition (CVD). Contributors are drawn from both academia and industry to achieve a balaced coverage of the subject. The volume emphasizes principles and understanding rather than details of specific materials or processes. Specific examples are given to illustrate the principles.
Author: Carlos M. Ferreira
Publisher: Springer Science & Business Media
ISBN: 1489911308
Category : Science
Languages : en
Pages : 556
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Book Description
Proceedings of a NATO ARW held in Vimeiro, Portugal, May 11-15, 1992
Author: Noorhana Yahya
Publisher: Springer Science & Business Media
ISBN: 3642146732
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 413
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Book Description
This volume covers all aspects of carbon and oxide based nanostructured materials. The topics include synthesis, characterization and application of carbon-based namely carbon nanotubes, carbon nanofibres, fullerenes, carbon filled composites etc. In addition, metal oxides namely, ZnO, TiO2, Fe2O3, ferrites, garnets etc., for various applications like sensors, solar cells, transformers, antennas, catalysts, batteries, lubricants, are presented. The book also includes the modeling of oxide and carbon based nanomaterials. The book covers the topics: Synthesis, characterization and application of carbon nanotubes, carbon nanofibres, fullerenes Synthesis, characterization and application of oxide based nanomaterials. Nanostructured magnetic and electric materials and their applications. Nanostructured materials for petro-chemical industry. Oxide and carbon based thin films for electronics and sustainable energy. Theory, calculations and modeling of nanostructured materials.
Author:
Publisher: Academic Press
ISBN: 0128202416
Category : Science
Languages : en
Pages : 318
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Diamond for Quantum Applications Part 1, Volume 103, the latest release in the Semiconductors and Semimetals series, highlights new advances in the field, with this new volume presenting interesting chapters on a variety of timely topics. Each chapter is written by an international board of authors. - Provides the authority and expertise of leading contributors from an international board of authors - Presents the latest release in the Semiconductors and Semimetals series - Updated release includes the latest information on the use of diamonds for quantum applications
Author: Guang-Zhong Yang
Publisher: Springer
ISBN: 1447163745
Category : Computers
Languages : en
Pages : 572
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Book Description
The last decade has witnessed a rapid surge of interest in new sensing and monitoring devices for wellbeing and healthcare. One key development in this area is wireless, wearable and implantable in vivo monitoring and intervention. A myriad of platforms are now available from both academic institutions and commercial organisations. They permit the management of patients with both acute and chronic symptoms, including diabetes, cardiovascular diseases, treatment of epilepsy and other debilitating neurological disorders. Despite extensive developments in sensing technologies, there are significant research issues related to system integration, sensor miniaturisation, low-power sensor interface, wireless telemetry and signal processing. In the 2nd edition of this popular and authoritative reference on Body Sensor Networks (BSN), major topics related to the latest technological developments and potential clinical applications are discussed, with contents covering. Biosensor Design, Interfacing and Nanotechnology Wireless Communication and Network Topologies Communication Protocols and Standards Energy Harvesting and Power Delivery Ultra-low Power Bio-inspired Processing Multi-sensor Fusion and Context Aware Sensing Autonomic Sensing Wearable, Ingestible Sensor Integration and Exemplar Applications System Integration and Wireless Sensor Microsystems The book also provides a comprehensive review of the current wireless sensor development platforms and a step-by-step guide to developing your own BSN applications through the use of the BSN development kit.
Author: Tapan Gupta
Publisher: Springer
ISBN: 9783319882352
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 0
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All living things contain carbon in some form, as it is the primary component of macromolecules including proteins, lipids, nucleic acids (RNA and DNA), and carbohydrates. As a matter of fact, it is the backbone of all organic (chemistry) compounds forming different kinds of bonds. Carbon: The Black, the Gray and the Transparent is not a complete scientific history of the material, but a book that describes key discoveries about this old faithful element while encouraging broader perspectives and approaches to its research due to its vast applications. All allotropes of carbon are described in this book, along with their properties, uses, and methods of procurement or manufacturing. Black carbon is represented by coal, gray carbon is represented by graphite, and transparent carbon is represented by diamond.
Author: Anthony C. Jones
Publisher: Royal Society of Chemistry
ISBN: 0854044655
Category : Science
Languages : en
Pages : 600
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"The book is one of the most comprehensive overviews ever written on the key aspects of chemical vapour deposition processes and it is more comprehensive, technically detailed and up-to-date than other books on CVD. The contributing authors are all practising CVD technologists and are leading international experts in the field of CVD. It presents a logical and progressive overview of the various aspects of CVD processes. Basic concepts, such as the various types of CVD processes, the design of CVD reactors, reaction modelling and CVD precursor chemistry are covered in the first few"--Jacket
Author: D. Tománek
Publisher: Springer Science & Business Media
ISBN: 0306470985
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 393
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This series of books, which is published at the rate of about one per year, addresses fundamental problems in materials science. The contents cover a broad range of topics from small clusters of atoms to engineering materials and involve chemistry, physics, materials science, and engineering, with length scales ranging from Ångstroms up to millimeters. The emphasis is on basic science rather than on applications. Each book focuses on a single area of current interest and brings together leading experts to give an up-to-date discussion of their work and the work of others. Each article contains enough references that the interested reader can access the relevant literature. Thanks are given to the Center for Fundamental Materials Research at Michigan State University for supporting this series. M. F. Thorpe, Series Editor E-mail: thorpe@pa. msu. edu East Lansing, Michigan V PREFACE It is hard to believe that not quite ten years ago, namely in 1991, nanotubes of carbon were discovered by Sumio Iijima in deposits on the electrodes of the same carbon arc apparatus that was used to produce fullerenes such as the “buckyball”. Nanotubes of carbon or other materials, consisting ofhollow cylinders that are only a few nanometers in diameter, yet up to millimeters long, are amazing structures that self-assemble under extreme conditions. Their quasi-one-dimensional character and virtual absence of atomic defects give rise to a plethora of unusual phenomena.
Author: Yu A. Lebedev
Publisher: Wexford College Press
ISBN: 9781934939086
Category : Microwave plasmas
Languages : en
Pages : 0
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Specialists in different areas of microwave plasma physics, technique, and plasma processing cover all problems of theory, experiments, and applications of microwave discharges, and yield the state-of-the-art trends.
