Experimental Development of Microwave Cavity Plasma Reactors for Large Area and High Rate Diamond Film Deposition PDF Download
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Author: Jie Zhang
Publisher:
ISBN:
Category : Diamonds
Languages : en
Pages : 606
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Book Description
Author: Jie Zhang
Publisher:
ISBN:
Category : Diamonds
Languages : en
Pages : 606
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Author: Jes Asmussen
Publisher: CRC Press
ISBN: 0824743245
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 658
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Book Description
The Diamond Films Handbook is an important source of information for readers involved in the new diamond film technology, emphasizing synthesis technologies and diamond film applications. Containing over 1600 references, drawings, photographs, micrographs, equations, and tables, and contributions by experts from both industry and academia, it includes specific chapters that address film characterization methods and the physics and chemistry of film synthesis. Other topics include deposition chemistry, various techniques for diamond synthesis, diamond heat spreaders, thermal management diamond active electronic devices, and diamond film optics.
Author: Jörg Fricke
Publisher: diplom.de
ISBN: 3832475885
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 116
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Book Description
Inhaltsangabe:Zusammenfassung: Synthetische Diamanten sind in Industrie und Wissenschaft sehr attraktiv, schaffen sie doch den Kompromiss zwischen einzigartigen Materialeigenschaften und geringen Anschaffungskosten. Mit der Verfeinerung von geeigneten CVD-Methoden und der intensiven Entwicklung von Reaktoren und Anlagen konnten die Herstellungskosten weiter gesenkt und vor allem enorme Fortschritte bei den möglichen Anwendungen und Abmessungen erzielt werden. Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit dem Wiederaufbau und der Integration einer unbekannten industriellen 915MHz MCPR-Anlage (microwave cavity plasma reactor), für die Herstellung von CVD-Diamanten. Dabei wird umfangreich über den Stand der Technik bei relevanten CVD-Reaktoren, Anwendungsmöglichkeiten, Synthese und Materialeigenschaften von synthetischen Diamanten eingegangen. Weiterhin wird der Aufbau und die Wirkungsweise der MCPR-Reaktoranlage beschrieben. Neben der Analyse der Ausgangsbedingungen wird auf die Umsetzung der Teilprobleme wie den Wiederaufbau des Mikrowellensystems, Vakuumanlage, Prozessgassystem und das Wasserkühlsystem eingegangen, wobei spezifische Probleme (Design, Funktion, Fehler, notwendige Änderungen) analysiert und Lösungen besprochen werden. Dabei werden Dimensionierungen von Kühlleistungen, Gasbedarfe (Prozessgase) und Einstellungen bei unbekannten Systemeigenschaften beschrieben. Weiterhin werden Dimensionierung und Auswahl von einem Kühlaggregat und Gaskühlströmen, die Konstruktion und Dimensionierung einer Hebevorrichtung und Kammergrößenskala und adäquate Systemparameterwahl erläutert, wobei auf jeweilige (un-) bekannte Randbedingungen eingegangen werden. Mit der Entscheidung von geeigneten Methoden (Helium-Leck-Test, Mikrowellenstrahlung u.a.) wurden die Teilsysteme auf Funktion und Sicherheit überprüft. Mit geeigneten Berechnungen konnten notwendige Reinheiten im Vakuumbereich (Leckratenbeurteilung, Prozessgaswechsel) erwiesen werden. Abschließend werden Funktionstests und Auswirkungen auf den gewählten Aufbau der Anlage beschrieben und Ausblicke für weitere Modifikationen und Verbesserungen gemacht. Die Arbeit zeigt mit 29 Abbildungen, 10 Tabellen und 24 Anlagen (Skizzen, Tabellen, u.a.) unterschiedliche Problemlösungen beim Wiederaufbau der Reaktoranlage. Inhaltsverzeichnis:Table of Contents: Assignment (Aufgabenstellung)ii Bibliographical Delineation (Bibliographische Beschreibung und Referat)iii Declaration [...]
Author: Stanley Shengxi Zuo
Publisher:
ISBN:
Category : Chemical vapor deposition
Languages : en
Pages : 670
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Author: Wen-Shin Huang
Publisher:
ISBN:
Category : Chemical vapor
Languages : en
Pages : 798
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Author: Wen-yi Tan
Publisher:
ISBN:
Category : Diamond thin films
Languages : en
Pages : 416
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Author: Dzung Tri Tran
Publisher:
ISBN:
Category : Chemical vapor deposition
Languages : en
Pages : 314
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Author: Aparna Das
Publisher: Elsevier
ISBN: 0128230851
Category : Science
Languages : en
Pages : 412
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Microwaves in Chemistry Applications: Fundamentals, Methods and Future Trends offers a number of benefits over conventional heating technologies, including acceleration of reaction rates, milder reaction conditions, higher chemical yields, lower energy usage and different reaction selectivity, all of which can improve the sustainability of processes. The book provides valuable insights into the underlying chemistry at play in microwave-assisted processes, introducing fundamental concepts, discussing the modeling of reactions in such processes, and also highlighting a range of key methods and applications of microwaves in chemistry for improved sustainability. Beginning with an introduction to microwave chemistry, Part One discusses foundational principles, equipment and approaches for modeling reactions and assessing the outputs of those models. Methods in microwave chemistry are then the focus of Part Two, with microwave-assisted synthesis, catalysis, reduction and reactions all explored in detail. Part Three reflects on the practical usage of these methods to address specific issues, covering a number of interesting applications. - Provides guidance on the modeling and interpretation of microwave effects - Discusses microwave chemistry in the context of green chemistry principles - Outlines a range of important microwave methods, including microwave-assisted synthesis, catalysis, reactions and reductions
Author: Gregory Louis King
Publisher:
ISBN:
Category : Cyclotron resonance
Languages : en
Pages : 386
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Author: Jong-Hee Park
Publisher: ASM International
ISBN: 161503224X
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 477
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