ETUDE ET REALISATION D'UN CANON A IONS MICRO-ONDE DE SECTION RECTANGULAIRE POUR LE TRAITEMENT DE GRANDES SURFACES PDF Download
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Author: Véronique Roy
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CETTE THESE PRESENTE L'ETUDE ET LA REALISATION D'UN CANON A IONS MODULAIRE A RESONANCE CYCLOTRON ELECTRONIQUE (RCE) DESTINE AUX TRAITEMENTS DE SURFACES AU DEFILE. LA PUISSANCE MICRO-ONDE (A 2,45 GHZ) EST INJECTEE DANS UN GUIDE D'ONDE APLATI (80X15 MM) A TRAVERS UNE FENETRE D'ETANCHEITE EN QUARTZ D'EPAISSEUR QUART D'ONDE. DES AIMANTS PERMANENTS EN SMCO#5 SONT PLACES A L'INTERIEUR ET A L'EXTERIEUR DU GUIDE DANS LE BUT : 1) D'ETABLIR UN GRADIENT LONGITUDINAL ELEVE DE CHAMP MAGNETIQUE EN AVAL DE LA FENETRE, FAVORABLE A LA PROPAGATION DE L'ONDE 2) DE REDUIRE LE GRADIENT TRANSVERSAL DE CHAMP DONC LA DERIVE LATERALE DU PLASMA 3) DE CREER DES ZONES RCE DANS LA CHAMBRE D'IONISATION. LES DIMENSIONS DE CELLE-CI ET LA CONFIGURATION DU CHAMP MAGNETIQUE ONT ETE OPTIMISEES A L'AIDE D'UN CODE DE CALCUL CALMAG 3D. POUR PROTEGER LA FENETRE D'ETANCHEITE PLACEE AU CONTACT DU PLASMA, NOUS AVONS TESTE UNE FENTE RESONANTE. LES GRANDEURS CARACTERISTIQUES AUSSI BIEN DU PLASMA QUE DU FAISCEAU D'IONS ONT ETE MESUREES POUR DIFFERENTS GAZ : AR, O#2, N#2 ET H#2. DES DENSITES DE PLASMA SURCRITIQUES DE L'ORDRE DE 10#1#2CM#-#3 ONT ETE MESUREES AU MOYEN D'UNE SONDE CYLINDRIQUE DE LANGMUIR. LA DISPERSION EN ENERGIE DES IONS DU FAISCEAU EXTRAIT ATTEINT 10 EV DANS LES CONDITIONS NOMINALES DE FONCTIONNEMENT (QAR=5 SCCM ET PI=500 WATTS). UNE DENSITE DE COURANT DE 5 MA/CM#2 EST ATTEINTE A 500 W POUR DES IONS AYANT UNE ENERGIE DE 2000 EV, AVEC UNE HOMOGENEITE DE +/- 5% SUR 60 MM. DEUX TYPES D'OPTIQUE D'EXTRACTION ONT ETE ETUDIES : 1) DES GRILLES INCLINEES (30 OU 60) DANS LE BUT D'ACCROITRE LE TAUX DE PULVERISATION SUR LA CIBLE 2) DES GRILLES CONVEXES (DEFOCALISATRICES) AFIN D'IRRADIER UNE PLUS GRANDE SURFACE. LA COMPOSITION EN MASSE DU FAISCEAU A PERMI DE DETERMINER LES RAPPORTS IONS ATOMIQUES/IONS MOLECULAIRES DANS DIVERSES CONDITIONS DE FONCTIONNEMENT. LA CONTAMINATION DU FAISCEAU A ETE ETUDIEE PAR RBS SUR UN ECHANTILLON DE SILICIUM IRRADIE PAR UN FAISCEAU AR#+
Author: Véronique Roy
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Languages : fr
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CETTE THESE PRESENTE L'ETUDE ET LA REALISATION D'UN CANON A IONS MODULAIRE A RESONANCE CYCLOTRON ELECTRONIQUE (RCE) DESTINE AUX TRAITEMENTS DE SURFACES AU DEFILE. LA PUISSANCE MICRO-ONDE (A 2,45 GHZ) EST INJECTEE DANS UN GUIDE D'ONDE APLATI (80X15 MM) A TRAVERS UNE FENETRE D'ETANCHEITE EN QUARTZ D'EPAISSEUR QUART D'ONDE. DES AIMANTS PERMANENTS EN SMCO#5 SONT PLACES A L'INTERIEUR ET A L'EXTERIEUR DU GUIDE DANS LE BUT : 1) D'ETABLIR UN GRADIENT LONGITUDINAL ELEVE DE CHAMP MAGNETIQUE EN AVAL DE LA FENETRE, FAVORABLE A LA PROPAGATION DE L'ONDE 2) DE REDUIRE LE GRADIENT TRANSVERSAL DE CHAMP DONC LA DERIVE LATERALE DU PLASMA 3) DE CREER DES ZONES RCE DANS LA CHAMBRE D'IONISATION. LES DIMENSIONS DE CELLE-CI ET LA CONFIGURATION DU CHAMP MAGNETIQUE ONT ETE OPTIMISEES A L'AIDE D'UN CODE DE CALCUL CALMAG 3D. POUR PROTEGER LA FENETRE D'ETANCHEITE PLACEE AU CONTACT DU PLASMA, NOUS AVONS TESTE UNE FENTE RESONANTE. LES GRANDEURS CARACTERISTIQUES AUSSI BIEN DU PLASMA QUE DU FAISCEAU D'IONS ONT ETE MESUREES POUR DIFFERENTS GAZ : AR, O#2, N#2 ET H#2. DES DENSITES DE PLASMA SURCRITIQUES DE L'ORDRE DE 10#1#2CM#-#3 ONT ETE MESUREES AU MOYEN D'UNE SONDE CYLINDRIQUE DE LANGMUIR. LA DISPERSION EN ENERGIE DES IONS DU FAISCEAU EXTRAIT ATTEINT 10 EV DANS LES CONDITIONS NOMINALES DE FONCTIONNEMENT (QAR=5 SCCM ET PI=500 WATTS). UNE DENSITE DE COURANT DE 5 MA/CM#2 EST ATTEINTE A 500 W POUR DES IONS AYANT UNE ENERGIE DE 2000 EV, AVEC UNE HOMOGENEITE DE +/- 5% SUR 60 MM. DEUX TYPES D'OPTIQUE D'EXTRACTION ONT ETE ETUDIES : 1) DES GRILLES INCLINEES (30 OU 60) DANS LE BUT D'ACCROITRE LE TAUX DE PULVERISATION SUR LA CIBLE 2) DES GRILLES CONVEXES (DEFOCALISATRICES) AFIN D'IRRADIER UNE PLUS GRANDE SURFACE. LA COMPOSITION EN MASSE DU FAISCEAU A PERMI DE DETERMINER LES RAPPORTS IONS ATOMIQUES/IONS MOLECULAIRES DANS DIVERSES CONDITIONS DE FONCTIONNEMENT. LA CONTAMINATION DU FAISCEAU A ETE ETUDIEE PAR RBS SUR UN ECHANTILLON DE SILICIUM IRRADIE PAR UN FAISCEAU AR#+
Author: FAROUK.. BOUKARI
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Languages : fr
Pages : 140
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LA MOTIVATION DE CETTE THESE EST L'ETUDE D'UN CANON A IONS MICRO-ONDE COAXIALE POUR PRODUIRE DES FAISCEAUX DE DENSITE ELEVEE ET DE FAIBLE SECTION AYANT TYPIQUEMENT QUELQUES CENTIMETRES DE DIAMETRE. NOUS NOUS SOMMES INTERESSES AU PRINCIPE D'EXCITATION D'UN PLASMA A PARTIR D'UNE MICRO-ONDE, TOUT PARTICULIEREMENT A L'OPTIMISATION DE LA STRUCTURE AFIN DE CREER UN PLASMA INTENSE ET SUFFISAMMENT HOMOGENE AU NIVEAU DE L'INTERFACE PLASMA-FAISCEAU. L'EXCITATION DU PLASMA EST REALISEE PAR UNE ANTENNE PLONGEE DANS UNE CHAMBRE CYLINDRIQUE DONT LES DIMENSIONS ONT ETE ETABLIES POUR UN BON COUPLAGE ENTRE LA MICRO-ONDE ET LE PLASMA. LA RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE CONDUIT A UN FONCTIONNEMENT A BASSE PRESSION ASSOCIE A UN TRES BON RENDEMENT. NOUS AVONS PROPOSE UN MODELE TRES SIMPLE DE L'EFFET RCE EN CONSIDERANT LA MICRO-ONDE D'UN POINT DE VUE PHOTONIQUE. MALGRE LES HYPOTHESES SIMPLIFICATRICES, CE MODELE CONDUIT A DES RESULTATS TRES PROCHES DE L'EXPERIENCE. LA CARACTERISATION ET L'OPTIMISATION DE LA SOURCE ONT ETE REALISEES EN FONCTION DES DEUX PARAMETRES PRINCIPAUX DE LA DECHARGE (PRESSION DES NEUTRES ET PUISSANCE MICRO-ONDE) POUR LES GAZ SUIVANTS: AR, O#2, N#2, H#2, SF#6, CF#4 ET CH#4. ON PEUT AINSI ENVISAGER L'INSTALLATION DE CE CANON DANS DE NOMBREUX PROCEDES (GRAVURE, DEPOT,). NOUS AVONS EFFECTUE UNE CARACTERISATION DE LA DECHARGE. LES CONDITIONS D'AMORCAGE ET D'ENTRETIEN DE LA DECHARGE ONT FAIT L'OBJET D'UNE MODELISATION THEORIQUE QUI NOUS A PERMIS D'EXPLIQUER ET D'INTERPRETER LES PHENOMENES EXPERIMENTAUX REGISSANT LES CONDITIONS DE FONCTIONNEMENT STABLES ET CONTINUES. DES VALEURS DE LA PUISSANCE MICRO-ONDE NECESSAIRES, EN FONCTION DE LA PRESSION DANS LA CHAMBRE D'IONISATION, SONT EVALUEES A PARTIR DE CE MODELE. POUR LE TRAITEMENT DE MATERIAUX, IL EST SOUVENT NECESSAIRE DE DISPOSER DE FAISCEAUX D'IONS A BASSE ENERGIE. NOUS AVONS PRESENTE UNE ANALYSE COMPLETE DE LA FORMATION D'UN FAISCEAU DENSE DONT L'ENERGIE IONIQUE EST DE QUELQUES DIZAINES D'ELECTRONVOLTS. POUR CE FAIRE, NOUS AVONS ETUDIE DES CONDITIONS D'EXTRACTION NON TRADITIONNELLES MAIS QUI DONNENT DE FORTES DENSITES A BASSE ENERGIE. LA COMPOSITION DU FAISCEAU POUR DIFFERENTS GAZ ET NOTAMMENT POUR LES GAZ REACTIFS EST EGALEMENT ANALYSEE. NOUS AVONS ETUDIE PAR AILLEURS UNE SOURCE D'ELECTRONS MICRO-ONDE POUR REALISER LA NEUTRALISATION EN CHARGE ET EN COURANT DU FAISCEAU, TECHNIQUE NECESSAIRE POUR L'IRRADIATION DES MATERIAUX ISOLANTS. L'ETUDE DOIT ETRE CONTINUEE POUR RESOUDRE LE PROBLEME DU PIEGEAGE DES ELECTRONS PAR LE CHAMP DE FUITE. LES PREMIERS RESULTATS DE LA CONDENSATION D'IONS EXTRAITS D'UN PLASMA DE CH#4 A BASSE ENERGIE SONT PROMETTEURS ET UNE ETUDE PLUS APPROFONDIE RESTE A FAIRE
Author: Alain Durac
Publisher:
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Languages : fr
Pages : 6
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Author: Philippe Coste
Publisher:
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Languages : fr
Pages : 0
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Author: Don Montague
Publisher: Taylor & Francis
ISBN: 9780419199106
Category : Architecture
Languages : en
Pages : 472
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This dual-language dictionary lists over 20,000 specialist terms in both French and English, covering architecture, building, engineering and property terms. It meets the needs of all building professionals working on projects overseas. It has been comprehensively researched and compiled to provide an invaluable reference source in an increasingly European marketplace.
Author: Alain Hébert
Publisher: Presses inter Polytechnique
ISBN: 2553014368
Category : Nuclear physics
Languages : en
Pages : 426
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Author: International Atomic Energy Agency
Publisher: International Atomic Energy Agency
ISBN: 9789201063205
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 72
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This publication results from a technical meeting on phenomenology and technologies relevant to in-vessel melt retention (IVMR) and ex-vessel corium cooling (EVCC). The purpose of the publication is to capture the state of knowledge, at the time of that meeting, related to phenomenology and technologies as well as the challenges and pending issues relevant to IVMR and EVCC for water cooled reactors by summarizing the information provided by the meeting participants in a form useful to practitioners in Member States.
Author: Unesco. International Scientific Committee for the Drafting of a General History of Africa
Publisher: Univ of California Press
ISBN: 9780520067035
Category : History
Languages : en
Pages : 1076
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The hardcover edition of volume 8 was published in 1994. This paperback edition is the eighth and final volume to be published in the UNESCO General History of Africa. Volume 8 examines the period from 1935 to the present, and details the role of African states in the Second World War and the rise of postwar Africa. This is one of the most important books in the entire series, and as such, it is an unabridged paperback.
Author: James J. Duderstadt
Publisher: John Wiley & Sons
ISBN:
Category : Science
Languages : en
Pages : 630
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Problems after each chapter
Author: Bo Song
Publisher: Springer
ISBN: 3319224522
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 265
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Dynamic Behavior of Materials, Volume 1 represents the first of nine volumes of technical papers presented at the Society for Experimental Mechanics SEM 15th International Congress & Exposition on Experimental and Applied Mechanics, held at Costa Mesa, California, June 8-11, 2015. The full set of proceedings also includes volumes on: Challenges in Mechanics of Time Dependent Materials, Advancement of Optical Methods in Experimental Mechanics, Experimental and Applied Mechanics 16th International Symposium on MEMS and Nanotechnology, 5th International Symposium on the Mechanics of Biological Systems and Materials, International Symposium on the Mechanics of Composite and Multi-functional Materials, Fracture, Fatigue, Failure and Damage Evolution; and Residual Stress, Thermomechanics & Infrared Imaging, Hybrid Techniques and Inverse Problems.
