Author: Lætitia Lambert-BasaPublisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 141
Book Description
L'OBJECTIF DE CETTE ETUDE EST LA REALISATION DE COUCHES MINCES DE CRYOLITHE PAR ABLATION LASER SUR SUBSTRAT DE SILICIUM. NOUS AVONS UTILISE UN LASER A EXCIMERES KRF A 248 NM, PERMETTANT DES FLUENCES DE 0,5 A 5 J/CM 2. LES PREMIERS FILMS REALISES SELON LE SCHEMA CLASSIQUE DE LA PLD (SIMPLE ABLATION) PRESENTENT UN ETAT DE SURFACE TRES MAUVAIS, LES RENDANT INEXPLOITABLES POUR DES APPLICATIONS OPTIQUES. UN DEUXIEME DISPOSITIF EXPERIMENTAL A ETE MIS AU POINT, BASE SUR LE PRINCIPE DE LA DOUBLE ABLATION : DEUX CIBLES FAISANT ENTRE ELLES UN ANGLE D'ENVIRON 120 DEGRES SONT IRRADIEES SIMULTANEMENT PAR DEUX FAISCEAUX D'ENERGIES EGALES. LES DEUX PANACHES D'ABLATION SE RENCONTRENT A 15 MILLIMETRES DES CIBLES, ET L'EFFET DES COLLISIONS ENTRE LES PARTICULES ENTRAINE UNE REDISTRIBUTION DE LEURS TRAJECTOIRES SELON UNE DIRECTION MEDIANE, SUR LAQUELLE EST PLACE LE SUBSTRAT. CETTE TECHNIQUE DONNE D'EXCELLENTS RESULTATS : COMPOSITION PROCHE DE CELLE DES CIBLES, FILMS FAIBLEMENT CRISTALLISES, DIMINUTION D'UN FACTEUR 10 DE LA DENSITE DE GOUTTELETTES D'UNE TAILLE INFERIEURE A 1 MICRON, ET ELIMINATION TOTALE DES GOUTTELETTES DE TAILLE SUPERIEURE. UNE COMPARAISON A EGALEMENT ETE EFFECTUEE AVEC LES FILMS REALISES PAR EVAPORATION THERMIQUE, MONTRANT QUE LA DOUBLE ABLATION PERMET DE RESOUDRE CERTAINS DES PROBLEMES RENCONTRES DANS LE CADRE DE CETTE TECHNIQUE. PARALLELEMENT, UNE ETUDE DES PANACHES D'ABLATION A ETE REALISEE, ESSENTIELLEMENT PAR IMAGERIE CCD, PERMETTANT DE VISUALISER L'EXPANSION DES PANACHES, NOTAMMENT DANS LE CAS DE LA DOUBLE ABLATION. L'IMPORTANCE DES EFFETS LIES A LA PRESENCE DE CHAMPS ELECTRIQUES PRESENTS AU MOMENT DE LA COLLISION A ETE MISE EN EVIDENCE.
