OBTENTION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES PDF Download

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OBTENTION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES

OBTENTION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES PDF Author: ANNE.. BOUTEVILLE RICHARD
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ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 152

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Book Description
LES COUCHES MINCES DE SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES SONT UTILISES EN MICROELECTRONIQUE. LE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR PERMET UN EXCELLENT RECOUVREMENT DE MARCHE ET LA POSSIBILITE DE DEPOT SELECTIF. CETTE ETUDE TRAITE DE L'OBTENTION PAR CETTE METHODE A BASSE PRESSION DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE TA ET DE TI ET DE LEUR ETUDE. MISE AU POINT DU PROCEDE, INFLUENCE D'UN TRAITEMENT DE RECUIT ET ETUDE DU MECANISME DE CROISSANCE