Etude par spectroscopie de photoélectrons induits par rayons X de la nitruration thermique du silicium PDF Download
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Author: Christian Maillot
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 99
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Book Description
Author: Christian Maillot
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Category :
Languages : fr
Pages : 99
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Book Description
Author: Laurent Fauquier
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 0
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Book Description
La miniaturisation et l'augmentation de la complexité des circuits intégrés avancés est l'un des axes d'évolution de l'industrie microélectronique. Pour assurer les performances du transistor, une maitrise précise des épaisseurs, de la structure cristalline et de la composition, notamment de la dose d'azote, est indispensable pour chacune des couches des empilements qui constituent les transistors. Or, cette architecture complexe présente de nombreux challenges pour la métrologie. En effet, avec l'alternance de films très minces, les techniques de métrologie usuelles, basées sur des mesures en volume, sont difficiles à mettre en œuvre. Ainsi, une émergence de l'utilisation des techniques à rayons X s'observe, telle que la spectroscopie de photoélectrons à rayons X (XPS) ; méthode adaptée pour l'étude quantitative en épaisseur et en composition chimique sur des films de moins de 10nm. L'objectif principal de cette thèse est d'explorer de nouvelles approches de mise en œuvre de la technique XPS tant dans la méthodologie d'utilisation que dans les structures de tests étudiées. Dans un premier temps, ce travail porte sur l'analyse de la composition et de l'épaisseur de couches minces homogènes de l'empilement de grille des technologies 14nmFDSOI et 28nmFDSOI, composé d'un canal de SiGe et d'un empilement high-k/interfacial layer HfON/SiON. La mesure d'épaisseur par XPS appliquée à l'empilement HKMG HfON/SiON/Si est tout d'abord étudiée afin de valider son utilisation pour un suivi en ligne tout en analysant les effets de diffusion élastique sur cette mesure. Afin de déterminer la composition et l'épaisseur de couches de SiGe sur substrat de silicium, l'étude d'une métrologie hybride entre l'XPS avec la technique de réflectivité des rayons X (XRR) est menée pour en déterminer la faisabilité et la sensibilité. Dans un second temps, ce travail s'intéresse à l'étude d'empilements présentant des compositions hétérogènes avec la profondeur grâce au pARXPS (parallel Angle Resolved XPS), utilisé afin d'obtenir des reconstructions de profils chimiques. Après avoir validé la technique sur des couches HfON, SiON et SiGe, celle-ci est appliquée à des empilements industriels. La prise en compte des profils présents dans le réel empilement de grille a permis d'étudier l'effet de l'oxydation du SiGe sur le profil du germanium ainsi que d'améliorer la justesse et la sensibilité de la mesure des espèces et des épaisseurs des couches HfON et SiON sur un XPS en ligne. Enfin, l'exploration d'utilisations moins conventionnelles de l'XPS (e.g. structures 3D, étude de cristallinité) ouvre de nouvelles perspectives pour la caractérisation des couches minces.
Author: Allal Serrari
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 194
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Book Description
Le silicium et l'oxyde de silicium nitrurés présentent de meilleures propriétés diélectriques que l'oxyde de silicium utilisé dans la technologie M.O.S. (métal-oxyde-silicium), d'où l'intérêt de les étudier.La nitruration a été effectuée à pression atmosphérique sous NH3 à haute température (900°C-1100°C) et pendant une durée variant de quelques secondes à 1 ou 2 heures.Pour comprendre le mécanisme de nitruration, nous avons étudié l'influence de plusieurs paramètres de nitruration sur la composition chimique des couches réalisées.La caractérisation physico-chimique a été effectuée par plusieurs technique d'analyse complémentaires telles que : l'analyse par réaction nucléaire, les spectrométries d'électrons Auger et de photoélectrons, la spectroscopie de masse d'ions secondaires et l'ellipsométrie.Nous avons montré que la nitruration du silicium conduit à des couches contenant de l'oxygène. L'épaisseur de ces dernières augmente avec le temps et la température de nitruration mais saturent après une heure (80 A à 1100°C).L'oxyde de silicium nitruré (oxynitrure) présente une surface riche en azote par rapport au volume avec l'existence d’un pic d'azote près de l'inter- face avec le silicium.Nous avons observé ce pic dès 30 secondes pour un oxyde de 450 A, ce qui signifie un coefficient de diffusion de 3.10-13 cm2/s. Le coefficient de diffusion diminue rapidement, atteint 10-15 cm2/s dès 10 minutes de nitruration. L'incorporation de l'azote dans la couche d'oxyde s'accompagne d'une diminution de la quantité d'oxygène. Le mécanisme de transport atomique de l'oxygène pendant la nitruration a été étudié en utilisant des oxydes isotopiques.Un modèle du mécanisme de nitruration a été proposé.Les mesures capacité-tension à 1 MHZ ont permis de déterminer l'évolution de la tension de bande plate et de la quantité de charges dans la couche.Nous avons mis en évidence les propriétés de barrière à l'oxydation des oxynitrures réalisés.
Author: Silvia Diez-Gonzalez
Publisher: Royal Society of Chemistry
ISBN: 1782626816
Category : Science
Languages : en
Pages : 637
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Book Description
In less than 20 years N-heterocyclic carbenes (NHCs) have become well-established ancillary ligands for the preparation of transition metal-based catalysts. This is mainly due to the fact that NHCs tend to bind strongly to metal centres, avoiding the need of excess ligand in catalytic reactions. Also, NHC‒metal complexes are often insensitive to air and moisture, and have proven remarkably resistant to oxidation. This book showcases the wide variety of applications of NHCs in different chemistry fields beyond being simple phosphine mimics. This second edition has been updated throughout, and now includes a new chapter on NHC‒main group element complexes. It covers the synthesis of NHC ligands and their corresponding metal complexes, as well as their bonding and stereoelectronic properties and applications in catalysis. This is complemented by related topics such as organocatalysis and biologically active complexes. Written for organic and inorganic chemists, this book is ideal for postgraduates, researchers and industrialists.
Author: Maurizio Peruzzini
Publisher: Springer Science & Business Media
ISBN: 9048138175
Category : Science
Languages : en
Pages : 477
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Book Description
Each chapter of Phosphorus Compounds: Advanced Tools in Catalysis and Material Sciences have been carefully selected by the editors in order to represent a state-of-the-art overview of how phosphorus chemistry can provide solutions in various fields of applications. The editors have assembled an international array of world-renowned scientists and each chapter is written by experts in the fields of synthetic chemistry, homogeneous catalysis, dendrimers, theoretical calculations, materials science, and medicinal chemistry with a special focus on the chemistry of phosphorus compounds. Phosphorus Compounds: Advanced Tools in Catalysis and Material Sciences is of interest to a general readership ranging from advanced university course students to experts in academia and industry.
Author: Agnes Buka
Publisher: World Scientific
ISBN: 1848167997
Category : Science
Languages : en
Pages : 299
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Book Description
The book intends to give a state-of-the-art overview of flexoelectricity, a linear physical coupling between mechanical (orientational) deformations and electric polarization, which is specific to systems with orientational order, such as liquid crystals. Chapters written by experts in the field shed light on theoretical as well as experimental aspects of research carried out since the discovery of flexoelectricity. Besides a common macroscopic (continuum) description the microscopic theory of flexoelectricity is also addressed. Electro-optic effects due to or modified by flexoelectricity as well as various (direct and indirect) measurement methods are discussed. Special emphasis is given to the role of flexoelectricity in pattern-forming instabilities. While the main focus of the book lies in flexoelectricity in nematic liquid crystals, peculiarities of other mesophases (bent-core systems, cholesterics, and smectics) are also reviewed. Flexoelectricity has relevance to biological (living) systems and can also offer possibilities for technical applications. The basics of these two interdisciplinary fields are also summarized.
Author: Jerome V. Moloney
Publisher: Springer Science & Business Media
ISBN: 9780387985817
Category : Business & Economics
Languages : en
Pages : 270
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Book Description
Mathematical methods play a significant role in the rapidly growing field of nonlinear optical materials. This volume discusses a number of successful or promising contributions. The overall theme of this volume is twofold: (1) the challenges faced in computing and optimizing nonlinear optical material properties; and (2) the exploitation of these properties in important areas of application. These include the design of optical amplifiers and lasers, as well as novel optical switches. Research topics in this volume include how to exploit the magnetooptic effect, how to work with the nonlinear optical response of materials, how to predict laser-induced breakdown in efficient optical devices, and how to handle electron cloud distortion in femtosecond processes.
Author: Irwin W. Sherman
Publisher:
ISBN: 9781555815431
Category : Medical
Languages : en
Pages : 0
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Book Description
A clear, concise discourse of 300 years of malarial drug research. Serves as a resource for microbiologists, parasitologists, pharmacologists, medicinal chemists, biochemists, physicians, and drug researchers.
Author: Gerard van Koten
Publisher: Springer
ISBN: 3319229273
Category : Science
Languages : en
Pages : 381
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Book Description
The series Topics in Organometallic Chemistry presents critical overviews of research results in organometallic chemistry. As our understanding of organometallic structure, properties and mechanisms increases, new ways are opened for the design of organometallic compounds and reactions tailored to the needs of such diverse areas as organic synthesis, medical research, biology and materials science. Thus the scope of coverage includes a broad range of topics in pure and applied organometallic chemistry, where new breakthroughs are being achieved that are of significance to a larger scientific audience. The individual volumes of Topics in Organometallic Chemistry are thematic. Review articles are generally invited by the volume editors.
