Etude du transfert d'énergie d'une onde à un plasma PDF Download
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Author: Caroline Boisse-Laporte
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 257
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Book Description
Le sujet de cette thèse porte à la fois sur le transfert de l'énergie miroonde à un plasma et sur la modélisation de la décharge. Le chapitre I montre que le problème du maintien d'une décharge par une onde nécessite autant une étude approfondie de la propagation d'onde dans milieu limité (sujet du chapitre II), qu'une bonne compréhension de la décharge (sujet du chapitre II). Le chapitre II débute par une étude précise de la description diélectrique d'un plasma et de son interprétation physique. La suite détaille la résolution de l'équation de dispersion des différents modes pouvant se propager dans une structure à symétrie cylindrique, de la façon la plus générale possible. Le chapitre III présente les équations décrivant la décharge (fonction de distribution électronique et modèle radial de diffusion). Les caractéristiques de son maintien et les paramètres importants dont elles dépendent sont mis en évidence. Ces différents aspects théroiques sont utilisé au chaptire IV pour réalier un synthèe de résultats expérimentaux de décharges basse pression (argon, hélium, oxygène entre 0.1 et 10 torr) crées par une onde de surface (mode plasma à symétrie azimutale, de fréquence 210 à 2450 MHz).
Author: Caroline Boisse-Laporte
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 257
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Book Description
Le sujet de cette thèse porte à la fois sur le transfert de l'énergie miroonde à un plasma et sur la modélisation de la décharge. Le chapitre I montre que le problème du maintien d'une décharge par une onde nécessite autant une étude approfondie de la propagation d'onde dans milieu limité (sujet du chapitre II), qu'une bonne compréhension de la décharge (sujet du chapitre II). Le chapitre II débute par une étude précise de la description diélectrique d'un plasma et de son interprétation physique. La suite détaille la résolution de l'équation de dispersion des différents modes pouvant se propager dans une structure à symétrie cylindrique, de la façon la plus générale possible. Le chapitre III présente les équations décrivant la décharge (fonction de distribution électronique et modèle radial de diffusion). Les caractéristiques de son maintien et les paramètres importants dont elles dépendent sont mis en évidence. Ces différents aspects théroiques sont utilisé au chaptire IV pour réalier un synthèe de résultats expérimentaux de décharges basse pression (argon, hélium, oxygène entre 0.1 et 10 torr) crées par une onde de surface (mode plasma à symétrie azimutale, de fréquence 210 à 2450 MHz).
Author: M. Capitelli
Publisher: Springer Science & Business Media
ISBN: 1461534003
Category : Science
Languages : en
Pages : 226
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Book Description
The present book contains the proceedings of the workshop "Plasma Technology and Applications" which was held at 11 Ciocco (Lucca-Italy) during 5-6 July 1991. The workshop was organized just before ICPIG XX to emphasize the role of plasma physics and plasma chemistry in different fields of technology. Topics cover different applications such as lamps, plasma treatment of materials (etching, deposition, nitriding), plasma sources (microwave excitation, negative ion sources) and plasma destruction of pollutants. Several chapters deal with basic concepts in plasma physics, non equilibrium plasma modeling and plasma diagnostics as well as with laser interaction with solid targets. The authors gratefully acknowledge the financial support provided by university of Bari (Italy) and by CNR (Centro di Studio per la Chimica dei Plasmi, Istituto di Fisica Atomica e Molecolare (IFAM) and Progetto Finalizzato Materiali Speciali per Tecnologie Avanzate) as well as the sponsorship of ENEA. M. Capitelli C. Gorse v CONTENTS Plasmas in nature, laboratory and technology 1 A.M. Ignatov and A.A. Rukhadze Laser diagnostics of plasmas 11 L. Pyatnitsky Probe diagnostics of plasmas 27 G. Dilecce Theory, properties and applications of non equilibrium plasmas created by external energy sources 45 E. Son Non-Equilibrium plasma modeling 59 M. Capitel1i, R. Celiberto, G. Capriati, C. Gorse and S. Longo Gas discharge lamps 81 M. Koedam Plasma etching processes and diagnostics 93 R. d'Agostino and F. Fracassi Plasma deposition: processes and diagnostics 109 A
Author: Carlos M. Ferreira
Publisher: Springer Science & Business Media
ISBN: 1489911308
Category : Science
Languages : en
Pages : 556
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Book Description
Proceedings of a NATO ARW held in Vimeiro, Portugal, May 11-15, 1992
Author: J. C. Brown
Publisher: Elsevier
ISBN: 1483185915
Category : Science
Languages : en
Pages : 558
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Book Description
International Series of Monographs in Electromagnetic Waves, Volume 11: Electromagnetic Wave Theory, Part 1 covers the proceedings of an International Scientific Radio Union (U.R.S.I.) Symposium on Electromagnetic Wave Theory. The book contains 61 chapters that are organized into three sections. The first section presents papers about wave propagation, which includes lateral waves; terrestrial waveguides; and plane waves in dissipative media. Next, the title reviews studies about wave guides, including basic properties of periodic waveguides; theoretical investigation of non-uniform waveguides; and waves in a coaxial line partially filled with plasma. The last section covers topics about surface waves, such as a dielectric prism in the corner of overmoded waveguide; lasers and optical communication systems; and microwave and laser resonators. The text will be of great use to researchers and practitioners of disciplines that study or utilize electromagnetic wave technologies, such as electrotechnics and electrical engineering.
Author: Pierre-Antoine Cormier
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 0
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Book Description
La connaissance de l'énergie transférée aux surfaces en contact avec un plasma basse pression est un paramètre clé pour le contrôle des procédés plasmas basse pression. Sa détermination permet une meilleure compréhension des mécanismes mis en jeu lors du dépôt ou la gravure de couches couches minces. Elle dépend des espèces du plasma (les ions, les électrons et les neutres) ainsi que de nombreux mécanismes physiques ou chimiques (réaction, condensation, émission radiative.). Elle peut être déterminée par la simulation du transport des particules dans le plasma, par des estimations de chaque contribution à partir des paramètres plasma ou tout simplement mesurée. Les études dédiées à sa mesure sont principalement basées sur l'utilisation d'une sonde calorimétrique, dont le principe sur l'interpolation du thermogramme mesuré. Ce type de méthode induit un long temps de mesure (2 min) et est source d'incertitudes. Un outil de diagnostic pour la mesure directe de l'énergie transférée a été développé au GREMI. Il est basé sur l'adaptation d'un capteur à thermopile initialement dédié à des mesures à pression atmosphérique. Cette thèse a donc été dédié à son développement et son utilisation pour l'étude de différents procédés plasmas basse pression : un propulseur spatial à effet Hall, un plasma poudreux, mais surtout de décharges magnétron. Des mesures ont été réalisées lors du dépôt de titane, d'aluminium, de TiO2 et de Al2O3. Les influences de la configuration magnétique de la cathode, du type de décharge, de l'échauffement des cibles, sur les conditions énergétiques à la surface du film en croissance ont été étudiées.
Author:
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ISBN:
Category : Ionization of gases
Languages : en
Pages : 464
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ISBN:
Category : Ionization of gases
Languages : en
Pages : 460
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Author: Mariem El Mokh Halloumi
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 0
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Book Description
Pour un bon contrôle du procédé de dépôt par pulvérisation magnétron et donc des propriétés des films déposés, une meilleure connaissance des processus de pulvérisation d'une part, et de croissance du film d'autre part est nécessaire. Une façon de mettre en évidence les différents mécanismes impliqués consiste à étudier les transferts d'énergie plasma/surface en temps réel pendant le procédé. Depuis une dizaine d'année, un outil de diagnostic permettant de mesurer directement l'énergie transférée, appelé 'fluxmètre' ou HFM (pour Heat Flux Microsensor), a été développé au GREMI. Il est basé sur l'insertion d'une thermopile dans un système adapté aux enceintes plasma basse pression. Bien que ce capteur de flux constitue un très bon outil de contrôle, son couplage avec d'autres diagnostics de la phase gazeuse (spectromètre de masse, spectroscopie d'émission, analyseur d'énergie etc.) et de caractérisation des films déposés (MEB, DRX, RBS,...) est nécessaire pour avoir une analyse complète du régime étudié. Pendant cette thèse, le fluxmètre a été principalement utilisé pour l'étude de trois régimes particuliers de pulvérisation magnétron en mode DC (Courant Continu); la pulvérisation en condition réactive, la pulvérisation d'une cible magnétique et la pulvérisation d'une cible chaude. Ce travail a permis de mettre en évidence des transitions de régimes dans le cas de la pulvérisation en mode réactif (oxydemétal) et à partir d'une cible magnétique (Ferro-paramagnétique). De plus, lorsqu'une cible monte en température, elle émet un rayonnement IR qui peut être absorbé avec plus ou moins d'efficacité par le film en cours de croissance. Les expériences menées dans le cadre de cette thèse ont contribué à l'étude de l'influence que cette contribution énergétique, différente de celle des processus collisionnels (condensation des atomes pulvérisés, interaction avec les ions, électrons etc.) peut avoir sur les films synthétisés.
Author: Brana Perović
Publisher:
ISBN:
Category : Ionization of gases
Languages : en
Pages : 864
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Book Description
Author: Joël Aubert (auteur d'une thèse de sciences.)
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ISBN:
Category :
Languages : fr
Pages : 96
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