Advanced Metallization Conference 2003 PDF Download
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Author: 与洋·太田
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : en
Pages : 138
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Book Description
Author: 与洋·太田
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : en
Pages : 138
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Author: Gary W. Ray
Publisher: Materials Research Society
ISBN: 9781558997578
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 792
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Book Description
The Advanced Metallization Conference (AMC) marked its twentieth anniversary in 2003. Technical leaders from around the world gather to discuss developments in the areas of interconnect performance, advanced metallization, low-dielectric constant materials, barrier metallization, atomic layer deposition, vertical integration, advanced packaging and optical interconnects. In particular, presentations highlight both the advances and future challenges associated with multilevel interconnect. The latest developments in the integration of copper-based metallization with low-dielectric constant materials, and advances in the understanding of copper morphology and the reliability of the component materials of interconnect systems, are featured. Additional contributions discuss the development of advanced materials and advanced process technologies. Optimization of interconnect performance and density, and alternatives to metal-based interconnect, are addressed in papers on interconnect performance issues, vertical integration and system-in-a-package versus system-on-a-chip.
Author:
Publisher:
ISBN:
Category :
Languages : ja
Pages : 153
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Author:
Publisher:
ISBN:
Category : Integrated circuits
Languages : en
Pages : 792
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Author:
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ISBN:
Category : Integrated circuits
Languages : en
Pages : 730
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Author:
Publisher:
ISBN:
Category : Integrated circuits
Languages : en
Pages : 920
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Author:
Publisher: The Electrochemical Society
ISBN: 9781566774178
Category : Dielectrics
Languages : en
Pages : 508
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Author: ASM International
Publisher: ASM International
ISBN: 1615030867
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 534
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Author: Mihal E. Gross
Publisher: Mrs Conference Proceedings
ISBN:
Category : Technology & Engineering
Languages : en
Pages : 806
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The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
Author: LE TIEC Yannick
Publisher: Lavoisier
ISBN: 2746289180
Category : Chemical detectors
Languages : en
Pages : 386
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Book Description
La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs sciences comme la physique, l’électronique, l’optique ou la mécanique, contribuent à créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement impliquée dans de nombreux domaines tels que la synthèse des matériaux, la pureté des fluides, des gaz, des sels, le suivi des réactions chimiques et de leurs équilibres ainsi que la préparation de surfaces optimisées et la gravure sélective de couches spécifiques. Au cours des dernières décennies, la taille des transistors s’est considérablement réduite et la fonctionnalité des circuits électroniques s’est accrue. Cette évolution a conduit à une interpénétration de la chimie et de la microélectronique exposée dans cet ouvrage. Chimie en microélectronique présente les chimies et les séquences utilisées lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages jusqu’aux gravures des plaquettes de silicium, du rôle et de l’impact de leur niveau de pureté jusqu’aux procédés d’interconnexion des millions de transistors composant un circuit électronique. Afin d’illustrer la convergence avec le domaine de la santé, l’ouvrage expose les nouvelles fonctionnalisations spécifiques, tels que les capteurs biologiques ou les capteurs sur la personne.
